传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
3期
5-7,11
,共4页
冀健龙%桑胜波%李朋伟%张文栋%周兆英%杨兴
冀健龍%桑勝波%李朋偉%張文棟%週兆英%楊興
기건룡%상성파%리붕위%장문동%주조영%양흥
电沉积%枝晶%电连接%接触电阻%交流电渗
電沉積%枝晶%電連接%接觸電阻%交流電滲
전침적%지정%전련접%접촉전조%교류전삼
electrodeposition%dendrite%electric connection%contact resistance%AC electroosmosis
使用交流电化学方法定向制备了预制微电极之间的电连接.通过调节交流电压与偏置直流电压幅值可以控制电连接的生长方向.如果施加的交流电压幅值高于生成电连接的电压阈值,并且该值恒定时,频率越小,浓度越大,电连接晶体越粗壮;而当电解液浓度与频率恒定时,电压幅值变化对形貌影响较小.有限元仿真模拟进一步说明:当施加的交流电压高于阈值时,电极处于交流电渗流上游.电极扩散层厚度增加将诱导电极之间电连接晶体的生长.在交流电压上叠加直流偏置电压时,电连接晶体从偏置电压相对较负的一端向另一端生长.伏安特性测试结果表明:该连接具有优异的接触特性.
使用交流電化學方法定嚮製備瞭預製微電極之間的電連接.通過調節交流電壓與偏置直流電壓幅值可以控製電連接的生長方嚮.如果施加的交流電壓幅值高于生成電連接的電壓閾值,併且該值恆定時,頻率越小,濃度越大,電連接晶體越粗壯;而噹電解液濃度與頻率恆定時,電壓幅值變化對形貌影響較小.有限元倣真模擬進一步說明:噹施加的交流電壓高于閾值時,電極處于交流電滲流上遊.電極擴散層厚度增加將誘導電極之間電連接晶體的生長.在交流電壓上疊加直流偏置電壓時,電連接晶體從偏置電壓相對較負的一耑嚮另一耑生長.伏安特性測試結果錶明:該連接具有優異的接觸特性.
사용교류전화학방법정향제비료예제미전겁지간적전련접.통과조절교류전압여편치직류전압폭치가이공제전련접적생장방향.여과시가적교류전압폭치고우생성전련접적전압역치,병차해치항정시,빈솔월소,농도월대,전련접정체월조장;이당전해액농도여빈솔항정시,전압폭치변화대형모영향교소.유한원방진모의진일보설명:당시가적교류전압고우역치시,전겁처우교류전삼류상유.전겁확산층후도증가장유도전겁지간전련접정체적생장.재교류전압상첩가직류편치전압시,전련접정체종편치전압상대교부적일단향령일단생장.복안특성측시결과표명:해련접구유우이적접촉특성.
