山东师范大学学报（自然科学版）
山東師範大學學報（自然科學版）
산동사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANGOND NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2014年
3期
14-16
,共3页
多层介质膜光栅%精密结构%激光诱导损伤%激光预处理
多層介質膜光柵%精密結構%激光誘導損傷%激光預處理
다층개질막광책%정밀결구%격광유도손상%격광예처리
multilayer dielectric gratings%fine structure%laser induced damage%laser-conditioning
在1-on-1和N-on-1实验对比基础上提出并验证了多层介质膜光栅的激光预处理效应．实验表明激光处理后多层介质膜光栅阈值能提高到处理前的1．5-2倍，激光预处理能够有效减少多层介质膜光栅表面光栅结构区的杂质污染和微结构缺陷，同时不损伤顶层光栅结构．
在1-on-1和N-on-1實驗對比基礎上提齣併驗證瞭多層介質膜光柵的激光預處理效應．實驗錶明激光處理後多層介質膜光柵閾值能提高到處理前的1．5-2倍，激光預處理能夠有效減少多層介質膜光柵錶麵光柵結構區的雜質汙染和微結構缺陷，同時不損傷頂層光柵結構．
재1-on-1화N-on-1실험대비기출상제출병험증료다층개질막광책적격광예처리효응．실험표명격광처리후다층개질막광책역치능제고도처리전적1．5-2배，격광예처리능구유효감소다층개질막광책표면광책결구구적잡질오염화미결구결함，동시불손상정층광책결구．
The laser conditioning effect is proposed and confirmed based on the comparison of the 1 -on-1 and N-on-1 test.Experiments show that the laser induced damage threshold of the multilayer dielectric gratings is increased up to 1 .5 -2 times of the value without laser-conditioning.Significantly,laser-conditioning can reduce the impurities and microstructure defects in top grating structure without destorying the fine structure.
