北京师范大学学报(自然科学版)
北京師範大學學報(自然科學版)
북경사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY
2014年
2期
132-138
,共7页
吴先映%廖斌%张旭%李强%彭建华%张荟星%张孝吉
吳先映%廖斌%張旭%李彊%彭建華%張薈星%張孝吉
오선영%료빈%장욱%리강%팽건화%장회성%장효길
MEVVA离子注入%磁过滤等离子体沉积%材料表面改性
MEVVA離子註入%磁過濾等離子體沉積%材料錶麵改性
MEVVA리자주입%자과려등리자체침적%재료표면개성
MEVVA%filter cathode vacuum arc(FCVA)%surface modification
金属蒸汽真空弧放电能够产生高密度的金属等离子体。通过二或三电极引出系统,可以把金属等离子体中的金属离子引出,并加速成为载能的金属离子束,这是 MEVVA 离子源技术。将载能离子束用于离子注入,可以实现材料表面改性。经过 MEVVA源离子注入处理的工具和零部件,改性效果显著,因此 MEVVA离子源在离子注入材料表面改性技术中得到很好的应用。另一方面,利用弯曲磁场把等离子体导向到视线外的真空靶室中的同时,过滤掉真空弧产生的液滴(大颗粒),当工件加上适当的负偏压时,等离子体中的离子在工件表面沉积,可以得到高质量的、平整致密的薄膜,称为磁过滤等离子体沉积。是一种先进的薄膜制备的新技术。此外,将 MEVVA 离子注入与磁过滤等离子体沉积相结合的复合技术,可以首先用离子注入的方法改变基材表面的性能,再用磁过滤等离子体沉积的方法制备薄膜,可以极大的增强薄膜与基材的结合强度,得到性能极佳的薄膜。适用于基材与薄膜性能差别大,结合不易的情况(例如陶瓷、玻璃表面制备金属膜)。本文简要介绍了 MEVVA离子注入技术、磁过滤等离子体沉积技术和 MEVVA复合技术的发展和应用状况。
金屬蒸汽真空弧放電能夠產生高密度的金屬等離子體。通過二或三電極引齣繫統,可以把金屬等離子體中的金屬離子引齣,併加速成為載能的金屬離子束,這是 MEVVA 離子源技術。將載能離子束用于離子註入,可以實現材料錶麵改性。經過 MEVVA源離子註入處理的工具和零部件,改性效果顯著,因此 MEVVA離子源在離子註入材料錶麵改性技術中得到很好的應用。另一方麵,利用彎麯磁場把等離子體導嚮到視線外的真空靶室中的同時,過濾掉真空弧產生的液滴(大顆粒),噹工件加上適噹的負偏壓時,等離子體中的離子在工件錶麵沉積,可以得到高質量的、平整緻密的薄膜,稱為磁過濾等離子體沉積。是一種先進的薄膜製備的新技術。此外,將 MEVVA 離子註入與磁過濾等離子體沉積相結閤的複閤技術,可以首先用離子註入的方法改變基材錶麵的性能,再用磁過濾等離子體沉積的方法製備薄膜,可以極大的增彊薄膜與基材的結閤彊度,得到性能極佳的薄膜。適用于基材與薄膜性能差彆大,結閤不易的情況(例如陶瓷、玻璃錶麵製備金屬膜)。本文簡要介紹瞭 MEVVA離子註入技術、磁過濾等離子體沉積技術和 MEVVA複閤技術的髮展和應用狀況。
금속증기진공호방전능구산생고밀도적금속등리자체。통과이혹삼전겁인출계통,가이파금속등리자체중적금속리자인출,병가속성위재능적금속리자속,저시 MEVVA 리자원기술。장재능리자속용우리자주입,가이실현재료표면개성。경과 MEVVA원리자주입처리적공구화령부건,개성효과현저,인차 MEVVA리자원재리자주입재료표면개성기술중득도흔호적응용。령일방면,이용만곡자장파등리자체도향도시선외적진공파실중적동시,과려도진공호산생적액적(대과립),당공건가상괄당적부편압시,등리자체중적리자재공건표면침적,가이득도고질량적、평정치밀적박막,칭위자과려등리자체침적。시일충선진적박막제비적신기술。차외,장 MEVVA 리자주입여자과려등리자체침적상결합적복합기술,가이수선용리자주입적방법개변기재표면적성능,재용자과려등리자체침적적방법제비박막,가이겁대적증강박막여기재적결합강도,득도성능겁가적박막。괄용우기재여박막성능차별대,결합불역적정황(례여도자、파리표면제비금속막)。본문간요개소료 MEVVA리자주입기술、자과려등리자체침적기술화 MEVVA복합기술적발전화응용상황。
MEVVA sources or high density metal plasma produced by metal vapor vacuum arc,is widely used in material surface modifications;Metal ions of MEVVA are introduced into vacuum chamber by two or three extraction-electrode systems.The performance of tools and parts is excellent after modification by MEVVA technique,therefore its wide use in material surface modification.In filter cathode vacuum arc system (FCVA),big particles are filtered by magnetic field produced by 45°bent copper pipe,and films deposited by FCVA system have superior properties,such as high film density and excellent film quality.Film adhesion to substrates (on ceramics or glass)can be improved significantly by combining MEVVA and FCVA systems. The main development and applications of MEVVA and FCVA systems in Beij ing Normal university are summarized.