光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2014年
5期
34-39
,共6页
外差干涉%锁相%定位%相位差%鉴相
外差榦涉%鎖相%定位%相位差%鑒相
외차간섭%쇄상%정위%상위차%감상
heterodyne interferometer%phase locked%position%phase difference%phase demodulation
以外差干涉定位系统为研究对象，提出一种基于锁相跟踪的定位方法，简化了传统定位系统结构；就整个定位系统的工作过程及原理进行了说明，证明了锁相跟踪方法的可行性；讨论了系统工作过程中的核心功能环节的实现方法，分别对高频信号的发生、移相脉冲抑制以及鉴相过程进行详细说明。本文就鉴相电路功能和干涉锁相跟踪定位系统的输出进行了测试实验，实验结果证明高频鉴相电路输出准确度达到0.07o，锁相跟踪系统定位输出的合成不确定度为10.1 nm。
以外差榦涉定位繫統為研究對象，提齣一種基于鎖相跟蹤的定位方法，簡化瞭傳統定位繫統結構；就整箇定位繫統的工作過程及原理進行瞭說明，證明瞭鎖相跟蹤方法的可行性；討論瞭繫統工作過程中的覈心功能環節的實現方法，分彆對高頻信號的髮生、移相脈遲抑製以及鑒相過程進行詳細說明。本文就鑒相電路功能和榦涉鎖相跟蹤定位繫統的輸齣進行瞭測試實驗，實驗結果證明高頻鑒相電路輸齣準確度達到0.07o，鎖相跟蹤繫統定位輸齣的閤成不確定度為10.1 nm。
이외차간섭정위계통위연구대상，제출일충기우쇄상근종적정위방법，간화료전통정위계통결구；취정개정위계통적공작과정급원리진행료설명，증명료쇄상근종방법적가행성；토론료계통공작과정중적핵심공능배절적실현방법，분별대고빈신호적발생、이상맥충억제이급감상과정진행상세설명。본문취감상전로공능화간섭쇄상근종정위계통적수출진행료측시실험，실험결과증명고빈감상전로수출준학도체도0.07o，쇄상근종계통정위수출적합성불학정도위10.1 nm。
Aiming at the positioning platform of heterodyne interferometer, a new position method of phase locked has been introduced to simplify the system structure. The positioning system working principle and process have been explained and the feasibility of the phase locked method has been proved. The core link of positioning system, such as high-frequency, phase-shifting circuit and phase demodulation unit, have been discussed in detail. The test experiment of phase demodulation circuit and the whole positioning platform have been performed. The results show that the precision of phase demodulation circuit is 0.07o and the positioning uncertainty is less than 10.1 nm.
