材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2014年
4期
84-87
,共4页
张焱%高原%吴炜钦%王成磊%庞泽鹏%程敏楠
張焱%高原%吳煒欽%王成磊%龐澤鵬%程敏楠
장염%고원%오위흠%왕성뢰%방택붕%정민남
弧电流%TiN薄膜%不锈钢%结合力%耐磨性
弧電流%TiN薄膜%不鏽鋼%結閤力%耐磨性
호전류%TiN박막%불수강%결합력%내마성
currents of target%TiN film%stainless steel%adhesion strength%wear resistance
采用多弧离子镀技术在4Cr13不锈钢上沉积TiN薄膜,在其他参数不变的条件下,研究不同弧电流下薄膜的组织、结构及性能.利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪和往复式摩擦磨损仪分别对薄膜进行表面形貌观察,物相分析,以及表面硬度、结合力、耐磨性检测.实验结果表明:孤电流对薄膜的表面形貌有明显的影响,随着弧电流的增大,薄膜表面的液滴数目和尺寸逐步增大;薄膜的相结构主要由TiN相组成,在(111)面有较强的择优取向,且随着弧电流的增大,衍射峰强度略有增加;随着孤电流的增大,薄膜的硬度先增大后减小,硬度值最大为2897HV;随着弧电流的增大,薄膜的结合力先增大后减小,当弧电流为105 A时,薄膜的结合力最大,为75 N;随着弧电流的增大,薄膜的摩擦系数先减小后增大,当弧电流为105 A时,薄膜的耐磨性最好.
採用多弧離子鍍技術在4Cr13不鏽鋼上沉積TiN薄膜,在其他參數不變的條件下,研究不同弧電流下薄膜的組織、結構及性能.利用掃描電子顯微鏡、X射線衍射儀、顯微硬度計、劃痕儀和往複式摩抆磨損儀分彆對薄膜進行錶麵形貌觀察,物相分析,以及錶麵硬度、結閤力、耐磨性檢測.實驗結果錶明:孤電流對薄膜的錶麵形貌有明顯的影響,隨著弧電流的增大,薄膜錶麵的液滴數目和呎吋逐步增大;薄膜的相結構主要由TiN相組成,在(111)麵有較彊的擇優取嚮,且隨著弧電流的增大,衍射峰彊度略有增加;隨著孤電流的增大,薄膜的硬度先增大後減小,硬度值最大為2897HV;隨著弧電流的增大,薄膜的結閤力先增大後減小,噹弧電流為105 A時,薄膜的結閤力最大,為75 N;隨著弧電流的增大,薄膜的摩抆繫數先減小後增大,噹弧電流為105 A時,薄膜的耐磨性最好.
채용다호리자도기술재4Cr13불수강상침적TiN박막,재기타삼수불변적조건하,연구불동호전류하박막적조직、결구급성능.이용소묘전자현미경、X사선연사의、현미경도계、화흔의화왕복식마찰마손의분별대박막진행표면형모관찰,물상분석,이급표면경도、결합력、내마성검측.실험결과표명:고전류대박막적표면형모유명현적영향,수착호전류적증대,박막표면적액적수목화척촌축보증대;박막적상결구주요유TiN상조성,재(111)면유교강적택우취향,차수착호전류적증대,연사봉강도략유증가;수착고전류적증대,박막적경도선증대후감소,경도치최대위2897HV;수착호전류적증대,박막적결합력선증대후감소,당호전류위105 A시,박막적결합력최대,위75 N;수착호전류적증대,박막적마찰계수선감소후증대,당호전류위105 A시,박막적내마성최호.
