实验室研究与探索
實驗室研究與探索
실험실연구여탐색
LAABORATORY REESEARCH AND EXPLORATION
2013年
12期
72-74
,共3页
张兴元%何国庆%刘园园%黄佳木
張興元%何國慶%劉園園%黃佳木
장흥원%하국경%류완완%황가목
磁控溅射%多靶共溅%基片台%基片挡板转盘%可编程控制器
磁控濺射%多靶共濺%基片檯%基片擋闆轉盤%可編程控製器
자공천사%다파공천%기편태%기편당판전반%가편정공제기
magnetron sputtering%multi-target co-sputtering%substrate holder%substrate-baffle plate%programmable logic controller (PLC)
针对JGP-560B型磁控溅射仪存在基片台可放置基片的数量及尺寸有限、同批不同样品成分的一致性难以保证等问题,将设备的基片挡板转盘改进成了一次可放置较多数量基片,并能实现连续旋转的新基片台.结果表明:通过优化可编程控制器端口的接线,既保留了JGP-560B磁控溅射仪的原设计功能,又实现了挡板转盘的软件可控连续旋转,且可通过LED灯指示挡板转盘的旋转状态;在挡板转盘上,根据靶离子的有效溅射范围设计的5个基片位,满足了一次最多可放置20片载玻片基片的实验需求.该技术改进有效满足了多基片一次性沉积均一多元薄膜的实验要求,为JGP-560B磁控溅射仪基片台的技术改进提供了改进思路和有效方案.
針對JGP-560B型磁控濺射儀存在基片檯可放置基片的數量及呎吋有限、同批不同樣品成分的一緻性難以保證等問題,將設備的基片擋闆轉盤改進成瞭一次可放置較多數量基片,併能實現連續鏇轉的新基片檯.結果錶明:通過優化可編程控製器耑口的接線,既保留瞭JGP-560B磁控濺射儀的原設計功能,又實現瞭擋闆轉盤的軟件可控連續鏇轉,且可通過LED燈指示擋闆轉盤的鏇轉狀態;在擋闆轉盤上,根據靶離子的有效濺射範圍設計的5箇基片位,滿足瞭一次最多可放置20片載玻片基片的實驗需求.該技術改進有效滿足瞭多基片一次性沉積均一多元薄膜的實驗要求,為JGP-560B磁控濺射儀基片檯的技術改進提供瞭改進思路和有效方案.
침대JGP-560B형자공천사의존재기편태가방치기편적수량급척촌유한、동비불동양품성분적일치성난이보증등문제,장설비적기편당판전반개진성료일차가방치교다수량기편,병능실현련속선전적신기편태.결과표명:통과우화가편정공제기단구적접선,기보류료JGP-560B자공천사의적원설계공능,우실현료당판전반적연건가공련속선전,차가통과LED등지시당판전반적선전상태;재당판전반상,근거파리자적유효천사범위설계적5개기편위,만족료일차최다가방치20편재파편기편적실험수구.해기술개진유효만족료다기편일차성침적균일다원박막적실험요구,위JGP-560B자공천사의기편태적기술개진제공료개진사로화유효방안.
