实验室研究与探索
實驗室研究與探索
실험실연구여탐색
LAABORATORY REESEARCH AND EXPLORATION
2013年
12期
68-71,156
,共5页
王永红%王硕%马蛟%梁恒
王永紅%王碩%馬蛟%樑恆
왕영홍%왕석%마교%량항
压电陶瓷微位移器%驱动电源%相移
壓電陶瓷微位移器%驅動電源%相移
압전도자미위이기%구동전원%상이
PZT micro-displacement actuator%power supply%phase shift
针对相移干涉测量系统中微位移的要求,研制了一种新型压电陶瓷微位移器及其驱动电源,该驱动电源采用集成功率运算放大器配合外围器件组成直流放大式结构,能够有效解决输出电压的非线性问题,减少自激现象,提高系统的稳定性.对研制的压电陶瓷微位移器进行了实验标定.经测试,研制的驱动电源具有驱动能力强、线性度好、重复性好等特点.干涉实验验证了研制的压电陶瓷微位移器性能的可靠性和位移的精确性.
針對相移榦涉測量繫統中微位移的要求,研製瞭一種新型壓電陶瓷微位移器及其驅動電源,該驅動電源採用集成功率運算放大器配閤外圍器件組成直流放大式結構,能夠有效解決輸齣電壓的非線性問題,減少自激現象,提高繫統的穩定性.對研製的壓電陶瓷微位移器進行瞭實驗標定.經測試,研製的驅動電源具有驅動能力彊、線性度好、重複性好等特點.榦涉實驗驗證瞭研製的壓電陶瓷微位移器性能的可靠性和位移的精確性.
침대상이간섭측량계통중미위이적요구,연제료일충신형압전도자미위이기급기구동전원,해구동전원채용집성공솔운산방대기배합외위기건조성직류방대식결구,능구유효해결수출전압적비선성문제,감소자격현상,제고계통적은정성.대연제적압전도자미위이기진행료실험표정.경측시,연제적구동전원구유구동능력강、선성도호、중복성호등특점.간섭실험험증료연제적압전도자미위이기성능적가고성화위이적정학성.