传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
2期
70-72
,共3页
镜像结构光子晶体%微加速度计%介观压光效应%悬臂梁结构%高灵敏度
鏡像結構光子晶體%微加速度計%介觀壓光效應%懸臂樑結構%高靈敏度
경상결구광자정체%미가속도계%개관압광효응%현비량결구%고령민도
mirror structure photonic crystal%micro accelerometer%mesoscopic effect%cantilever beam structure%high sensitivity
镜像结构光子晶体能够在一定范围的频带内形成单一的透射峰,受其他频率的光子影响小且易于观察.从理论结果可以看出,这种光子晶体透射率与所受的轴向应力在一定范围内呈简单的线性关系.据此,该设计以典型的单悬臂梁结构为基础设计一种新型加速度计.在单悬臂梁根部所受应力最大处,用镜像结构光子晶体替代以往的力敏电阻器,通过测出透射光强算出透射率,进而可算出加速度的值.从模态分析图中可以看到这种加速度计具有更好的稳定性和抗干扰性.
鏡像結構光子晶體能夠在一定範圍的頻帶內形成單一的透射峰,受其他頻率的光子影響小且易于觀察.從理論結果可以看齣,這種光子晶體透射率與所受的軸嚮應力在一定範圍內呈簡單的線性關繫.據此,該設計以典型的單懸臂樑結構為基礎設計一種新型加速度計.在單懸臂樑根部所受應力最大處,用鏡像結構光子晶體替代以往的力敏電阻器,通過測齣透射光彊算齣透射率,進而可算齣加速度的值.從模態分析圖中可以看到這種加速度計具有更好的穩定性和抗榦擾性.
경상결구광자정체능구재일정범위적빈대내형성단일적투사봉,수기타빈솔적광자영향소차역우관찰.종이론결과가이간출,저충광자정체투사솔여소수적축향응력재일정범위내정간단적선성관계.거차,해설계이전형적단현비량결구위기출설계일충신형가속도계.재단현비량근부소수응력최대처,용경상결구광자정체체대이왕적력민전조기,통과측출투사광강산출투사솔,진이가산출가속도적치.종모태분석도중가이간도저충가속도계구유경호적은정성화항간우성.
