计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2012年
z1期
97-101
,共5页
计量学%激光干涉仪%长度测量%机床检测%不确定度
計量學%激光榦涉儀%長度測量%機床檢測%不確定度
계량학%격광간섭의%장도측량%궤상검측%불학정도
Metrology%LaserTRACER%Length measurement%Machine tool test%Uncertainty
简述了精密数控机床的空间定位误差包括直线轴误差与旋转轴误差.介绍了激光干涉仪的原理与结构,根据多边定位原理,利用激光干涉测量的方法,可对机床的直线轴、旋转轴进行检测,确定其系统空间几何误差,测量结果不确定达到U95=0.2μm +0.3μm/m.以米克朗UCP800为例,检测其直线轴X轴、y轴、Z轴和旋转轴C轴,给出检测误差.
簡述瞭精密數控機床的空間定位誤差包括直線軸誤差與鏇轉軸誤差.介紹瞭激光榦涉儀的原理與結構,根據多邊定位原理,利用激光榦涉測量的方法,可對機床的直線軸、鏇轉軸進行檢測,確定其繫統空間幾何誤差,測量結果不確定達到U95=0.2μm +0.3μm/m.以米剋朗UCP800為例,檢測其直線軸X軸、y軸、Z軸和鏇轉軸C軸,給齣檢測誤差.
간술료정밀수공궤상적공간정위오차포괄직선축오차여선전축오차.개소료격광간섭의적원리여결구,근거다변정위원리,이용격광간섭측량적방법,가대궤상적직선축、선전축진행검측,학정기계통공간궤하오차,측량결과불학정체도U95=0.2μm +0.3μm/m.이미극랑UCP800위례,검측기직선축X축、y축、Z축화선전축C축,급출검측오차.
