计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2012年
z1期
91-93
,共3页
计量学%滚轮式湿膜厚度规%校准方法%湿膜厚度%重复性
計量學%滾輪式濕膜厚度規%校準方法%濕膜厚度%重複性
계량학%곤륜식습막후도규%교준방법%습막후도%중복성
Metrology%Wet film wheels gauge%Calibrating method%Wet film thickness%Repeatability
介绍了2种校准滚轮式湿膜厚度规的方法,在同样的实验条件下,分别采用2种方法对同一滚轮式湿膜厚度规样品进行多次反复实验测量.从实验测量的复杂性、仪器的精度、所耗时间长短以及重复性等方面进行对比,结果表明由上海市计量测试技术研究院机械所自主研发的标准装置测量精度达到了1μm,测量耗时3～5 min.
介紹瞭2種校準滾輪式濕膜厚度規的方法,在同樣的實驗條件下,分彆採用2種方法對同一滾輪式濕膜厚度規樣品進行多次反複實驗測量.從實驗測量的複雜性、儀器的精度、所耗時間長短以及重複性等方麵進行對比,結果錶明由上海市計量測試技術研究院機械所自主研髮的標準裝置測量精度達到瞭1μm,測量耗時3～5 min.
개소료2충교준곤륜식습막후도규적방법,재동양적실험조건하,분별채용2충방법대동일곤륜식습막후도규양품진행다차반복실험측량.종실험측량적복잡성、의기적정도、소모시간장단이급중복성등방면진행대비,결과표명유상해시계량측시기술연구원궤계소자주연발적표준장치측량정도체도료1μm,측량모시3～5 min.
