计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2012年
z1期
59-62
,共4页
徐雪芳%高思田%卢明臻%李伟%施玉书
徐雪芳%高思田%盧明臻%李偉%施玉書
서설방%고사전%로명진%리위%시옥서
计量学%原子力显微镜%光束偏转法%光电接收器%探针
計量學%原子力顯微鏡%光束偏轉法%光電接收器%探針
계량학%원자력현미경%광속편전법%광전접수기%탐침
Metrology%Atomic force microscope%Optical beam deflection method%Photo electric receiver%Probe
论述一种基于光束偏转法新型原子力显微镜测头的设计,在结构上它采用殷钢整体套筒将光学元件和光电接收装置封装在内部,减少了环境对光路和测头的影响;在光路设计上,通过孔径光阑的激光出射光路与测头悬臂反射的激光光路重合,且偏振态由(s)偏振方向变为(p)偏振方向,最后出射激光经过透镜焦点形成的光锥被四象限器探测,整个光路结构紧凑,且光学元件位置相对固定,简化了对光源信号及光斑的调节;在探针固定采用了夹具夹持的形式,便于探针灵活更换.
論述一種基于光束偏轉法新型原子力顯微鏡測頭的設計,在結構上它採用慇鋼整體套筒將光學元件和光電接收裝置封裝在內部,減少瞭環境對光路和測頭的影響;在光路設計上,通過孔徑光闌的激光齣射光路與測頭懸臂反射的激光光路重閤,且偏振態由(s)偏振方嚮變為(p)偏振方嚮,最後齣射激光經過透鏡焦點形成的光錐被四象限器探測,整箇光路結構緊湊,且光學元件位置相對固定,簡化瞭對光源信號及光斑的調節;在探針固定採用瞭夾具夾持的形式,便于探針靈活更換.
논술일충기우광속편전법신형원자력현미경측두적설계,재결구상타채용은강정체투통장광학원건화광전접수장치봉장재내부,감소료배경대광로화측두적영향;재광로설계상,통과공경광란적격광출사광로여측두현비반사적격광광로중합,차편진태유(s)편진방향변위(p)편진방향,최후출사격광경과투경초점형성적광추피사상한기탐측,정개광로결구긴주,차광학원건위치상대고정,간화료대광원신호급광반적조절;재탐침고정채용료협구협지적형식,편우탐침령활경환.
