计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2012年
z1期
21-23
,共3页
王蔚晨%丁晨%孙双花%高宏堂%叶孝佑
王蔚晨%丁晨%孫雙花%高宏堂%葉孝祐
왕위신%정신%손쌍화%고굉당%협효우
计量学%步距规%校准%光切法%白光干涉
計量學%步距規%校準%光切法%白光榦涉
계량학%보거규%교준%광절법%백광간섭
Metrology%Step gage%Calibration%Light-section method%White-light interference
提出了3种步距规校准的新方法.应用光切显微镜及白光干涉的测量原理实现步距规工作面的精确定位,结合中国计量科学研究院新研制的2m比长仪的机械性能和高精度的测长系统实现步距规的校准.给出了初步实验结果,并进行了方案探讨.采用光斑定位的方法步距规移动分辨率可达到0.02 mm,被测表面定位重复性优于0.05μm.
提齣瞭3種步距規校準的新方法.應用光切顯微鏡及白光榦涉的測量原理實現步距規工作麵的精確定位,結閤中國計量科學研究院新研製的2m比長儀的機械性能和高精度的測長繫統實現步距規的校準.給齣瞭初步實驗結果,併進行瞭方案探討.採用光斑定位的方法步距規移動分辨率可達到0.02 mm,被測錶麵定位重複性優于0.05μm.
제출료3충보거규교준적신방법.응용광절현미경급백광간섭적측량원리실현보거규공작면적정학정위,결합중국계량과학연구원신연제적2m비장의적궤계성능화고정도적측장계통실현보거규적교준.급출료초보실험결과,병진행료방안탐토.채용광반정위적방법보거규이동분변솔가체도0.02 mm,피측표면정위중복성우우0.05μm.
