计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2012年
z1期
17-20
,共4页
计量学%自支撑薄膜%光谱共焦%薄膜厚度
計量學%自支撐薄膜%光譜共焦%薄膜厚度
계량학%자지탱박막%광보공초%박막후도
Metrology%Self-supporting foils%Chromatic confocal%Foils thickness
介绍了白光光谱共焦进行表面光学定位的原理和同轴共轭对称的自支撑金属薄膜厚度测量系统,通过对标准台阶高度和标准量块厚度的测量试验,以及测量结果不确定度的分析,验证该薄膜厚度测量系统的准确性和可靠性,在300 μm的厚度范围内系统相对测量不确定度达到0.99％,满足薄膜厚度高精度测量和量值溯源的技术要求.
介紹瞭白光光譜共焦進行錶麵光學定位的原理和同軸共軛對稱的自支撐金屬薄膜厚度測量繫統,通過對標準檯階高度和標準量塊厚度的測量試驗,以及測量結果不確定度的分析,驗證該薄膜厚度測量繫統的準確性和可靠性,在300 μm的厚度範圍內繫統相對測量不確定度達到0.99％,滿足薄膜厚度高精度測量和量值溯源的技術要求.
개소료백광광보공초진행표면광학정위적원리화동축공액대칭적자지탱금속박막후도측량계통,통과대표준태계고도화표준량괴후도적측량시험,이급측량결과불학정도적분석,험증해박막후도측량계통적준학성화가고성,재300 μm적후도범위내계통상대측량불학정도체도0.99％,만족박막후도고정도측량화량치소원적기술요구.
