计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2012年
z1期
1-5
,共5页
薛梓%叶孝佑%孙双花%王鹤岩%杨国梁
薛梓%葉孝祐%孫雙花%王鶴巖%楊國樑
설재%협효우%손쌍화%왕학암%양국량
计量学%坐标测量%影像测量%激光干涉%测量不确定度%二维线纹标准器
計量學%坐標測量%影像測量%激光榦涉%測量不確定度%二維線紋標準器
계량학%좌표측량%영상측량%격광간섭%측량불학정도%이유선문표준기
Metrology%Coordinate measurement%Image measurement%Laser interferometry%Measurement uncertainty%2D photomask
随着集成电路制造中的光刻工艺日益成熟,利用光刻工艺制造的二维线纹标准器被大量应用于影像测量仪、带视觉测头的坐标机和数字式显微镜的精度校准和评价.为了解决二维线纹标准器的校准和量值溯源问题,研制了高精度激光二坐标测量装置,通过分析该测量装置的测量原理和机械、光学误差的作用机理,建立了二维线纹标准器点坐标的测量误差模型,为了降低二维线纹标准器点坐标的测量不确定度,给出了降低和消除装置几何测量误差的方法和步骤,建立了误差分离后的测量不确定度模型,并进行了不确定度分析和计算.
隨著集成電路製造中的光刻工藝日益成熟,利用光刻工藝製造的二維線紋標準器被大量應用于影像測量儀、帶視覺測頭的坐標機和數字式顯微鏡的精度校準和評價.為瞭解決二維線紋標準器的校準和量值溯源問題,研製瞭高精度激光二坐標測量裝置,通過分析該測量裝置的測量原理和機械、光學誤差的作用機理,建立瞭二維線紋標準器點坐標的測量誤差模型,為瞭降低二維線紋標準器點坐標的測量不確定度,給齣瞭降低和消除裝置幾何測量誤差的方法和步驟,建立瞭誤差分離後的測量不確定度模型,併進行瞭不確定度分析和計算.
수착집성전로제조중적광각공예일익성숙,이용광각공예제조적이유선문표준기피대량응용우영상측량의、대시각측두적좌표궤화수자식현미경적정도교준화평개.위료해결이유선문표준기적교준화량치소원문제,연제료고정도격광이좌표측량장치,통과분석해측량장치적측량원리화궤계、광학오차적작용궤리,건립료이유선문표준기점좌표적측량오차모형,위료강저이유선문표준기점좌표적측량불학정도,급출료강저화소제장치궤하측량오차적방법화보취,건립료오차분리후적측량불학정도모형,병진행료불학정도분석화계산.
