北京师范大学学报（自然科学版）
北京師範大學學報（自然科學版）
북경사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY
2013年
6期
578-581
,共4页
扫描透射模式%扫描电子显微镜%方法%样品支架
掃描透射模式%掃描電子顯微鏡%方法%樣品支架
소묘투사모식%소묘전자현미경%방법%양품지가
STEM%SEM%method%stub
在扫描电子显微镜上实现 STEM模式通常需要有一个扫描透射样品座和一个扫描透射信号的接收装置。本方法是在扫描电镜样品台上安装一个自行设计的安装薄样品的样品支架，利用扫描电镜内已有的二次电子检测器来检测扫描透射电子就可以实现 STEM明场像的观察和 X射线能谱分析。该方法不需要在扫描电镜里另外加装透射信号接收装置。
在掃描電子顯微鏡上實現 STEM模式通常需要有一箇掃描透射樣品座和一箇掃描透射信號的接收裝置。本方法是在掃描電鏡樣品檯上安裝一箇自行設計的安裝薄樣品的樣品支架，利用掃描電鏡內已有的二次電子檢測器來檢測掃描透射電子就可以實現 STEM明場像的觀察和 X射線能譜分析。該方法不需要在掃描電鏡裏另外加裝透射信號接收裝置。
재소묘전자현미경상실현 STEM모식통상수요유일개소묘투사양품좌화일개소묘투사신호적접수장치。본방법시재소묘전경양품태상안장일개자행설계적안장박양품적양품지가，이용소묘전경내이유적이차전자검측기래검측소묘투사전자취가이실현 STEM명장상적관찰화 X사선능보분석。해방법불수요재소묘전경리령외가장투사신호접수장치。
The conventional transmitted electron detecting system consists the specimen holder and signal receiver for STEM in the SEM.The stub is designed for sustaining specimen and reflecting transmitted electrons in this method.The STEM image could be acquired using the special stub on the holder and secondary electron detector in the SEM.The examination may also be coupled with X-ray microanalysis equipment for the acquisition of elemental information and distribution.It is not need the transmitted electron detector in SEM .
