微处理机
微處理機
미처리궤
MICROPROCESSORS
2013年
5期
16-19
,共4页
VC++%图像处理%提取特征点%直径测量
VC++%圖像處理%提取特徵點%直徑測量
VC++%도상처리%제취특정점%직경측량
VC ++%Image processing%Feature points extraction%Diameter measurement
针对单晶硅生长过程中的直径测量,提出一种“不在同一条直线上的三点确定圆”的直径测量算法.首先对获取到的单晶生长图像进行图像预处理,提取单晶体的边缘信息,然后基于“不在同一条直线上的三点确定圆”的原理,对部分“释热光环”提取特征点,从而获取硅单晶直径像素值,再通过量纲转化把直径像素值转化为长度值.试验表明,该算法获得的硅单晶直径的准确率满足直径检测系统的要求.
針對單晶硅生長過程中的直徑測量,提齣一種“不在同一條直線上的三點確定圓”的直徑測量算法.首先對穫取到的單晶生長圖像進行圖像預處理,提取單晶體的邊緣信息,然後基于“不在同一條直線上的三點確定圓”的原理,對部分“釋熱光環”提取特徵點,從而穫取硅單晶直徑像素值,再通過量綱轉化把直徑像素值轉化為長度值.試驗錶明,該算法穫得的硅單晶直徑的準確率滿足直徑檢測繫統的要求.
침대단정규생장과정중적직경측량,제출일충“불재동일조직선상적삼점학정원”적직경측량산법.수선대획취도적단정생장도상진행도상예처리,제취단정체적변연신식,연후기우“불재동일조직선상적삼점학정원”적원리,대부분“석열광배”제취특정점,종이획취규단정직경상소치,재통과량강전화파직경상소치전화위장도치.시험표명,해산법획득적규단정직경적준학솔만족직경검측계통적요구.
