微处理机
微處理機
미처리궤
MICROPROCESSORS
2013年
5期
6-9
,共4页
离子束溅射%自旋阀%磁阻%弱磁场测量
離子束濺射%自鏇閥%磁阻%弱磁場測量
리자속천사%자선벌%자조%약자장측량
Ion beam sputter%Spin valves%Magnetic reluctance%Weak magnetic field detection
采用离子束溅射及光刻工艺,在衬底硅片上制备了结构为Ta/NiFeCoCu/NiFeCo/FeMn/Ta的自旋阀型多层膜磁阻单元,然后采用四个磁阻单元构成惠斯通电桥,形成磁敏感元件,进而研制GMR传感器.介绍了自旋阀GMR传感器的结构和工作原理,研究了该传感器的特性,实验结果表明:该自旋阀线性度好、灵敏度高,可作为航天器进行宇宙空间微弱磁场测量的重要仪器.
採用離子束濺射及光刻工藝,在襯底硅片上製備瞭結構為Ta/NiFeCoCu/NiFeCo/FeMn/Ta的自鏇閥型多層膜磁阻單元,然後採用四箇磁阻單元構成惠斯通電橋,形成磁敏感元件,進而研製GMR傳感器.介紹瞭自鏇閥GMR傳感器的結構和工作原理,研究瞭該傳感器的特性,實驗結果錶明:該自鏇閥線性度好、靈敏度高,可作為航天器進行宇宙空間微弱磁場測量的重要儀器.
채용리자속천사급광각공예,재츤저규편상제비료결구위Ta/NiFeCoCu/NiFeCo/FeMn/Ta적자선벌형다층막자조단원,연후채용사개자조단원구성혜사통전교,형성자민감원건,진이연제GMR전감기.개소료자선벌GMR전감기적결구화공작원리,연구료해전감기적특성,실험결과표명:해자선벌선성도호、령민도고,가작위항천기진행우주공간미약자장측량적중요의기.
