稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2013年
10期
2123-2126
,共4页
张林%林国强%马国佳%魏科科%段仲伟
張林%林國彊%馬國佳%魏科科%段仲偉
장림%림국강%마국가%위과과%단중위
类金刚石膜%掺杂%接触角%表面能
類金剛石膜%摻雜%接觸角%錶麵能
류금강석막%참잡%접촉각%표면능
DLC film%doped%contact angle%surface energy
采用MEVVA离子源复合磁控溅射沉积系统,在钛合金Ti6Al4V基体上制备Ti掺杂DLC薄膜,研究Ti掺杂对DLC薄膜疏水性能的影响.通过X射线能谱仪(EDS)、X射线光电子谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)分别对薄膜的组分、化学键以及表面形貌进行分析;通过测量静态接触角分析薄膜的润湿性并计算薄膜的表面能.结果表明:Ti掺杂DLC膜明显提高疏水性能,水接触角最高达到105°.薄膜中sp2C杂化键组分增加以及表面形成Ti-O键,是导致薄膜表面能降低的重要因素.
採用MEVVA離子源複閤磁控濺射沉積繫統,在鈦閤金Ti6Al4V基體上製備Ti摻雜DLC薄膜,研究Ti摻雜對DLC薄膜疏水性能的影響.通過X射線能譜儀(EDS)、X射線光電子譜(XPS)、原子力顯微鏡(AFM)分彆對薄膜的組分、化學鍵以及錶麵形貌進行分析;通過測量靜態接觸角分析薄膜的潤濕性併計算薄膜的錶麵能.結果錶明:Ti摻雜DLC膜明顯提高疏水性能,水接觸角最高達到105°.薄膜中sp2C雜化鍵組分增加以及錶麵形成Ti-O鍵,是導緻薄膜錶麵能降低的重要因素.
채용MEVVA리자원복합자공천사침적계통,재태합금Ti6Al4V기체상제비Ti참잡DLC박막,연구Ti참잡대DLC박막소수성능적영향.통과X사선능보의(EDS)、X사선광전자보(XPS)、원자력현미경(AFM)분별대박막적조분、화학건이급표면형모진행분석;통과측량정태접촉각분석박막적윤습성병계산박막적표면능.결과표명:Ti참잡DLC막명현제고소수성능,수접촉각최고체도105°.박막중sp2C잡화건조분증가이급표면형성Ti-O건,시도치박막표면능강저적중요인소.
