CAJ | 학술논문

利用直流磁控溅射法在普通钠钙玻璃(SLG)衬底上沉积双层Mo薄膜,对不同条件下沉积的薄膜通过X射线衍射(XRD)仪、扫描电子显微镜(SEM)、四探针电阻仪等对其相结构、表面形貌以及电性能进行测试.结果表明:双层Mo薄膜呈体心立方结构;由于非晶玻璃基底的影响以及沉积时间较短,缓冲层结晶质量差,薄膜表面粗糙,有空洞、裂纹,电阻率大,随温度的升高电阻率减小,薄膜表现出半导体的特性.随着顶层薄膜(溅射工作气压0.1 Pa)沉积时间的增加,薄膜厚度增加,结晶性能变好,表面更加平整、致密,总体电阻率变小,导电性能提高,随温度的升高电阻率增大,薄膜表现出金属特性.与单层膜相比,双层膜具有更低的电阻率,且溅射时间短,厚度薄,能够降低成本,节省源材料,更符合CIGS电池背电极的需求.
이용직류자공천사법재보통납개파리(SLG)츤저상침적쌍층Mo박막,대불동조건하침적적박막통과X사선연사(XRD)의、소묘전자현미경(SEM)、사탐침전조의등대기상결구、표면형모이급전성능진행측시.결과표명:쌍층Mo박막정체심립방결구;유우비정파리기저적영향이급침적시간교단,완충층결정질량차,박막표면조조,유공동、렬문,전조솔대,수온도적승고전조솔감소,박막표현출반도체적특성.수착정층박막(천사공작기압0.1 Pa)침적시간적증가,박막후도증가,결정성능변호,표면경가평정、치밀,총체전조솔변소,도전성능제고,수온도적승고전조솔증대,박막표현출금속특성.여단층막상비,쌍층막구유경저적전조솔,차천사시간단,후도박,능구강저성본,절성원재료,경부합CIGS전지배전겁적수구.