稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2013年
10期
2023-2026
,共4页
褚夫同%李川%汪振中%刘兴钊
褚伕同%李川%汪振中%劉興釗
저부동%리천%왕진중%류흥쇠
AlN%薄膜%聚酰亚胺%FBARs
AlN%薄膜%聚酰亞胺%FBARs
AlN%박막%취선아알%FBARs
AlN%thin film%polyimide%FBARs
采用中频反应磁控溅射方法,在钼/聚酰亚胺/硅(Mo/PI/Si)基片上室温下制备出c轴取向柱状结晶氮化铝(AlN)薄膜,X射线衍射摇摆曲线和拉曼谱E2(高)峰半高宽分别是2.2°和18.6 cm-1.制作了基于Mo/AlN/Mo/PI/Si结构的薄膜体声波谐振器(FBARs),PI/Mo异质结用作声绝缘层.用矢量网络分析仪分析了FBARs的谐振特性,器件等效耦合系数达到5.4％.
採用中頻反應磁控濺射方法,在鉬/聚酰亞胺/硅(Mo/PI/Si)基片上室溫下製備齣c軸取嚮柱狀結晶氮化鋁(AlN)薄膜,X射線衍射搖襬麯線和拉曼譜E2(高)峰半高寬分彆是2.2°和18.6 cm-1.製作瞭基于Mo/AlN/Mo/PI/Si結構的薄膜體聲波諧振器(FBARs),PI/Mo異質結用作聲絕緣層.用矢量網絡分析儀分析瞭FBARs的諧振特性,器件等效耦閤繫數達到5.4％.
채용중빈반응자공천사방법,재목/취선아알/규(Mo/PI/Si)기편상실온하제비출c축취향주상결정담화려(AlN)박막,X사선연사요파곡선화랍만보E2(고)봉반고관분별시2.2°화18.6 cm-1.제작료기우Mo/AlN/Mo/PI/Si결구적박막체성파해진기(FBARs),PI/Mo이질결용작성절연층.용시량망락분석의분석료FBARs적해진특성,기건등효우합계수체도5.4％.
