机电一体化
機電一體化
궤전일체화
MECHATRONICS
2013年
7期
16-20,49
,共6页
硅片搬运机器人%虚拟样机%联合仿真%机械系统动力学自动分析%Matlab
硅片搬運機器人%虛擬樣機%聯閤倣真%機械繫統動力學自動分析%Matlab
규편반운궤기인%허의양궤%연합방진%궤계계통동역학자동분석%Matlab
wafer-handling robot%virtual prototype%coordinated simulation%ADAMS%Matlab
为提高硅片搬运机器人的设计效率,充分利用虚拟样机技术,搭建硅片搬运机器人的联合仿真系统.首先借助三维建模软件SolidWorks建立机器人三维实体模型;然后将实体模型导入ADAMS多体动力学软件,建立机器人的动力学模型,进行运动学和动力学仿真;之后在Matlab/Simulink中搭建机器人控制系统,并通过ADAMS/Control模块将ADAMS动力学模型与Simulink控制系统模型组合在一起,建立联合仿真系统.仿真结果表明,硅片搬运机器人具有较好的动态响应特性和良好的轨迹跟踪能力.
為提高硅片搬運機器人的設計效率,充分利用虛擬樣機技術,搭建硅片搬運機器人的聯閤倣真繫統.首先藉助三維建模軟件SolidWorks建立機器人三維實體模型;然後將實體模型導入ADAMS多體動力學軟件,建立機器人的動力學模型,進行運動學和動力學倣真;之後在Matlab/Simulink中搭建機器人控製繫統,併通過ADAMS/Control模塊將ADAMS動力學模型與Simulink控製繫統模型組閤在一起,建立聯閤倣真繫統.倣真結果錶明,硅片搬運機器人具有較好的動態響應特性和良好的軌跡跟蹤能力.
위제고규편반운궤기인적설계효솔,충분이용허의양궤기술,탑건규편반운궤기인적연합방진계통.수선차조삼유건모연건SolidWorks건립궤기인삼유실체모형;연후장실체모형도입ADAMS다체동역학연건,건립궤기인적동역학모형,진행운동학화동역학방진;지후재Matlab/Simulink중탑건궤기인공제계통,병통과ADAMS/Control모괴장ADAMS동역학모형여Simulink공제계통모형조합재일기,건립연합방진계통.방진결과표명,규편반운궤기인구유교호적동태향응특성화량호적궤적근종능력.
