工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2013年
10期
61-63
,共3页
微细电火花技术%电极制备%反拷法
微細電火花技術%電極製備%反拷法
미세전화화기술%전겁제비%반고법
micro-EDM%electrode preparation%anti-copy method
微细电火花技术在加工微小孔或具有复杂形状的零件时,由于工件尺寸较小,电极的制备比较困难.本文利用块电极反拷法在线制作和修正工具电极,所获得的电极同轴度较好,长径比L/R在30以上,平均直径为0.012mm,尖端直径在5μm左右.加工出了相应的微小孔,精度在±0.003mm.总结了反拷法的加工工艺特性和电参数的选择,为以后的MEMS器件加工提供好了有效的方法.
微細電火花技術在加工微小孔或具有複雜形狀的零件時,由于工件呎吋較小,電極的製備比較睏難.本文利用塊電極反拷法在線製作和脩正工具電極,所穫得的電極同軸度較好,長徑比L/R在30以上,平均直徑為0.012mm,尖耑直徑在5μm左右.加工齣瞭相應的微小孔,精度在±0.003mm.總結瞭反拷法的加工工藝特性和電參數的選擇,為以後的MEMS器件加工提供好瞭有效的方法.
미세전화화기술재가공미소공혹구유복잡형상적령건시,유우공건척촌교소,전겁적제비비교곤난.본문이용괴전겁반고법재선제작화수정공구전겁,소획득적전겁동축도교호,장경비L/R재30이상,평균직경위0.012mm,첨단직경재5μm좌우.가공출료상응적미소공,정도재±0.003mm.총결료반고법적가공공예특성화전삼수적선택,위이후적MEMS기건가공제공호료유효적방법.
