应用化学
應用化學
응용화학
CHINESE JOURNAL OF APPLIED CHEMISTRY
2013年
11期
1257-1264
,共8页
范绪阁%李国才%程超群%胡杰
範緒閣%李國纔%程超群%鬍傑
범서각%리국재%정초군%호걸
硅纳米线%金属辅助化学刻蚀%可控制备%模板%锂离子电池
硅納米線%金屬輔助化學刻蝕%可控製備%模闆%鋰離子電池
규납미선%금속보조화학각식%가공제비%모판%리리자전지
silicon nanowires%metal-assisted chemical etching%controlled fabrication%template%lithium ion battery
金属辅助化学刻蚀是近些年发展起来的一种各向异性湿法刻蚀,利用该方法可以制备出高长径比的半导体一维纳米结构.本文综述了金属辅助化学刻蚀法可控制备硅纳米线的最新进展,简要概述了刻蚀的基本过程与机制,重点阐述了基于不同模板的金属辅助化学刻蚀可控制备高度有序、高长径比的硅纳米线阵列的具体流程与工艺,并介绍了其在锂离子电池、太阳能电池、气体传感检测和仿生超疏水等方面的潜在应用,探讨了目前存在的问题及其今后的研究发展方向.
金屬輔助化學刻蝕是近些年髮展起來的一種各嚮異性濕法刻蝕,利用該方法可以製備齣高長徑比的半導體一維納米結構.本文綜述瞭金屬輔助化學刻蝕法可控製備硅納米線的最新進展,簡要概述瞭刻蝕的基本過程與機製,重點闡述瞭基于不同模闆的金屬輔助化學刻蝕可控製備高度有序、高長徑比的硅納米線陣列的具體流程與工藝,併介紹瞭其在鋰離子電池、太暘能電池、氣體傳感檢測和倣生超疏水等方麵的潛在應用,探討瞭目前存在的問題及其今後的研究髮展方嚮.
금속보조화학각식시근사년발전기래적일충각향이성습법각식,이용해방법가이제비출고장경비적반도체일유납미결구.본문종술료금속보조화학각식법가공제비규납미선적최신진전,간요개술료각식적기본과정여궤제,중점천술료기우불동모판적금속보조화학각식가공제비고도유서、고장경비적규납미선진렬적구체류정여공예,병개소료기재리리자전지、태양능전지、기체전감검측화방생초소수등방면적잠재응용,탐토료목전존재적문제급기금후적연구발전방향.
