光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
1期
7-12
,共6页
光学检测%平面镜%瑞奇-康芒法%误差分离%最小二乘法
光學檢測%平麵鏡%瑞奇-康芒法%誤差分離%最小二乘法
광학검측%평면경%서기-강망법%오차분리%최소이승법
optics test%flat mirror%Ritchey-Common method%error detaching%least square method
为了提高瑞奇-康芒法检测平面镜面形误差的精度,提出了利用检测系统光瞳面与被检平面镜表面的坐标映射关系插值拟合平面镜面形的方法.结合最小二乘法分析,解算了由光路调整引入的离焦误差,获得了更为真实的平面镜面形误差.理论仿真分析显示,此方法的平面镜测量误差可控制在λ/100(λ=632.8 nm)量级.对口径为40 mm的小口径平面镜进行了实际检测,检测过程中通过多角度旋转被测平面镜,利用坐标映射关系和幅值转换关系对测试波前进行恢复,在分离系统离焦误差后得到被检平面镜面形RMS值为0.018 6λ,与干涉仪直接检测得到的RMS值0.021λ相比,残差为0.002 4λ.实验结果证明了此种误差分离技术在瑞奇-康芒法对平面镜面形检测时的有效性与准确性.
為瞭提高瑞奇-康芒法檢測平麵鏡麵形誤差的精度,提齣瞭利用檢測繫統光瞳麵與被檢平麵鏡錶麵的坐標映射關繫插值擬閤平麵鏡麵形的方法.結閤最小二乘法分析,解算瞭由光路調整引入的離焦誤差,穫得瞭更為真實的平麵鏡麵形誤差.理論倣真分析顯示,此方法的平麵鏡測量誤差可控製在λ/100(λ=632.8 nm)量級.對口徑為40 mm的小口徑平麵鏡進行瞭實際檢測,檢測過程中通過多角度鏇轉被測平麵鏡,利用坐標映射關繫和幅值轉換關繫對測試波前進行恢複,在分離繫統離焦誤差後得到被檢平麵鏡麵形RMS值為0.018 6λ,與榦涉儀直接檢測得到的RMS值0.021λ相比,殘差為0.002 4λ.實驗結果證明瞭此種誤差分離技術在瑞奇-康芒法對平麵鏡麵形檢測時的有效性與準確性.
위료제고서기-강망법검측평면경면형오차적정도,제출료이용검측계통광동면여피검평면경표면적좌표영사관계삽치의합평면경면형적방법.결합최소이승법분석,해산료유광로조정인입적리초오차,획득료경위진실적평면경면형오차.이론방진분석현시,차방법적평면경측량오차가공제재λ/100(λ=632.8 nm)량급.대구경위40 mm적소구경평면경진행료실제검측,검측과정중통과다각도선전피측평면경,이용좌표영사관계화폭치전환관계대측시파전진행회복,재분리계통리초오차후득도피검평면경면형RMS치위0.018 6λ,여간섭의직접검측득도적RMS치0.021λ상비,잔차위0.002 4λ.실험결과증명료차충오차분리기술재서기-강망법대평면경면형검측시적유효성여준학성.
