设备管理与维修
設備管理與維脩
설비관리여유수
PLANT MAINTENANCE ENGINEERING
2013年
10期
24-25
,共2页
真空镀膜机%故障分析%维修
真空鍍膜機%故障分析%維脩
진공도막궤%고장분석%유수
真空镀膜机使用中出现真空摆动故障,原因是真空镀膜机抽气系统抽气能力不稳定与压升率达不到所致.提出维修方案,对所出现的故障逐一维修.
真空鍍膜機使用中齣現真空襬動故障,原因是真空鍍膜機抽氣繫統抽氣能力不穩定與壓升率達不到所緻.提齣維脩方案,對所齣現的故障逐一維脩.
진공도막궤사용중출현진공파동고장,원인시진공도막궤추기계통추기능력불은정여압승솔체불도소치.제출유수방안,대소출현적고장축일유수.
