科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2013年
29期
8760-8764
,共5页
林家庆%邓玉良%裴国旭%邹黎
林傢慶%鄧玉良%裴國旭%鄒黎
림가경%산옥량%배국욱%추려
SET(single event transient)%SEU(single event upset)%SOI(silicon on isolation)%辐照加固%原理模型
SET(single event transient)%SEU(single event upset)%SOI(silicon on isolation)%輻照加固%原理模型
SET(single event transient)%SEU(single event upset)%SOI(silicon on isolation)%복조가고%원리모형
SET (single event transient)%SEU (single event upset)%SOI(silicon on isolation)%radiation hard%modeling
介绍0.18 μm SOI器件技术中SET(single event transient)的原理模型及设计加固方法;并结合工艺具体参数,利用TCAD仿真工具进行了模拟仿真.探讨SET在0.18 μm SOI器件技术中的微观机理.提出0.18 μm SOI工艺SET设计加固方法.重点在于器件和电路级的探讨与加固,尤其是器件物理结构上的SET机理模型及加固设计.
介紹0.18 μm SOI器件技術中SET(single event transient)的原理模型及設計加固方法;併結閤工藝具體參數,利用TCAD倣真工具進行瞭模擬倣真.探討SET在0.18 μm SOI器件技術中的微觀機理.提齣0.18 μm SOI工藝SET設計加固方法.重點在于器件和電路級的探討與加固,尤其是器件物理結構上的SET機理模型及加固設計.
개소0.18 μm SOI기건기술중SET(single event transient)적원리모형급설계가고방법;병결합공예구체삼수,이용TCAD방진공구진행료모의방진.탐토SET재0.18 μm SOI기건기술중적미관궤리.제출0.18 μm SOI공예SET설계가고방법.중점재우기건화전로급적탐토여가고,우기시기건물리결구상적SET궤리모형급가고설계.