机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2013年
19期
171-178
,共8页
郭隐彪%杨炜%王振忠%彭云峰%毕果%杨平
郭隱彪%楊煒%王振忠%彭雲峰%畢果%楊平
곽은표%양위%왕진충%팽운봉%필과%양평
超精密加工%磨削加工装备%磨削加工工艺%精密检测%气囊抛光%环境监控%中频误差评价
超精密加工%磨削加工裝備%磨削加工工藝%精密檢測%氣囊拋光%環境鑑控%中頻誤差評價
초정밀가공%마삭가공장비%마삭가공공예%정밀검측%기낭포광%배경감공%중빈오차평개
Ultra-precision machining%Grinding equipment%Grinding process%Precise measuring Bonnet polishing Environment monitoring%Mid-spatial frequency error assessing
大口径光学元件超精密加工技术是多种学科新技术成果的综合应用,促进了民用和国防等尖端技术领域的发展,在国家大光学工程的推动下,我国的超精密加工技术取得显著的成果.围绕大口径光学元件“高精度磨削十确定性抛光”超精密加工体系,介绍该领域研究进展及厦门大学微纳米加工与检测联合实验室取得的相关研究成果,主要针对光学元件磨削和抛光两个加工流程,详细分析磨削装备技术、磨削工艺技术、精密检测技术、可控气囊抛光技术、加工环境监控技术和中频误差评价技术等关键技术的研究应用情况.这些技术研究从超精密加工的需求出发,借鉴国内外的研究经验和成果,通过对装备、工艺、检测等各方面整合,形成具有自主知识产权的大口径光学元件磨抛超精密加工体系,从而实现大口径光学元件高精度、低缺陷加工.
大口徑光學元件超精密加工技術是多種學科新技術成果的綜閤應用,促進瞭民用和國防等尖耑技術領域的髮展,在國傢大光學工程的推動下,我國的超精密加工技術取得顯著的成果.圍繞大口徑光學元件“高精度磨削十確定性拋光”超精密加工體繫,介紹該領域研究進展及廈門大學微納米加工與檢測聯閤實驗室取得的相關研究成果,主要針對光學元件磨削和拋光兩箇加工流程,詳細分析磨削裝備技術、磨削工藝技術、精密檢測技術、可控氣囊拋光技術、加工環境鑑控技術和中頻誤差評價技術等關鍵技術的研究應用情況.這些技術研究從超精密加工的需求齣髮,藉鑒國內外的研究經驗和成果,通過對裝備、工藝、檢測等各方麵整閤,形成具有自主知識產權的大口徑光學元件磨拋超精密加工體繫,從而實現大口徑光學元件高精度、低缺陷加工.
대구경광학원건초정밀가공기술시다충학과신기술성과적종합응용,촉진료민용화국방등첨단기술영역적발전,재국가대광학공정적추동하,아국적초정밀가공기술취득현저적성과.위요대구경광학원건“고정도마삭십학정성포광”초정밀가공체계,개소해영역연구진전급하문대학미납미가공여검측연합실험실취득적상관연구성과,주요침대광학원건마삭화포광량개가공류정,상세분석마삭장비기술、마삭공예기술、정밀검측기술、가공기낭포광기술、가공배경감공기술화중빈오차평개기술등관건기술적연구응용정황.저사기술연구종초정밀가공적수구출발,차감국내외적연구경험화성과,통과대장비、공예、검측등각방면정합,형성구유자주지식산권적대구경광학원건마포초정밀가공체계,종이실현대구경광학원건고정도、저결함가공.
