机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2013年
20期
2-9
,共8页
苑伟政%任森%邓进军%乔大勇
苑偉政%任森%鄧進軍%喬大勇
원위정%임삼%산진군%교대용
微机械%谐振%压力传感器%谐振器%激励%检测
微機械%諧振%壓力傳感器%諧振器%激勵%檢測
미궤계%해진%압력전감기%해진기%격려%검측
Micromachining%Resonance%Pressure sensor%Resonator%Excitation%Detection
硅微机械谐振压力传感器是目前精度最高、长期稳定性最好的压力传感器之一,是航空航天、工业过程控制和其他精密测量领域压力测试的最佳选择.系统阐述30年来国内外硅微机械谐振压力传感器技术的研究成果,简单介绍硅微机械谐振压力传感器的分类及工作原理,针对压力敏感膜片与谐振器复合结构和振动膜结构两种主要的芯体结构形式,详细论述硅微机械谐振压力传感器的研究历史、主要研究机构、国内外发展现状以及最新的研究成果,重点根据不同激励与检测方式对各种硅微机械谐振压力传感器的芯体结构进行深入分析比较.在此基础上,总结归纳不同芯体结构及其激励与检测方式的特点,并对硅微机械谐振压力传感器的未来发展趋势进行展望.
硅微機械諧振壓力傳感器是目前精度最高、長期穩定性最好的壓力傳感器之一,是航空航天、工業過程控製和其他精密測量領域壓力測試的最佳選擇.繫統闡述30年來國內外硅微機械諧振壓力傳感器技術的研究成果,簡單介紹硅微機械諧振壓力傳感器的分類及工作原理,針對壓力敏感膜片與諧振器複閤結構和振動膜結構兩種主要的芯體結構形式,詳細論述硅微機械諧振壓力傳感器的研究歷史、主要研究機構、國內外髮展現狀以及最新的研究成果,重點根據不同激勵與檢測方式對各種硅微機械諧振壓力傳感器的芯體結構進行深入分析比較.在此基礎上,總結歸納不同芯體結構及其激勵與檢測方式的特點,併對硅微機械諧振壓力傳感器的未來髮展趨勢進行展望.
규미궤계해진압력전감기시목전정도최고、장기은정성최호적압력전감기지일,시항공항천、공업과정공제화기타정밀측량영역압력측시적최가선택.계통천술30년래국내외규미궤계해진압력전감기기술적연구성과,간단개소규미궤계해진압력전감기적분류급공작원리,침대압력민감막편여해진기복합결구화진동막결구량충주요적심체결구형식,상세논술규미궤계해진압력전감기적연구역사、주요연구궤구、국내외발전현상이급최신적연구성과,중점근거불동격려여검측방식대각충규미궤계해진압력전감기적심체결구진행심입분석비교.재차기출상,총결귀납불동심체결구급기격려여검측방식적특점,병대규미궤계해진압력전감기적미래발전추세진행전망.
