仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2014年
2期
11-13,23
,共4页
微机电系统%高g值加速度传感器%有限元仿真分析%测试
微機電繫統%高g值加速度傳感器%有限元倣真分析%測試
미궤전계통%고g치가속도전감기%유한원방진분석%측시
MEMS%high-g accelerometer%finite element analysis%test
为满足高冲击时加速度测量的要求,研制了一种基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器.内部敏感元件采用对称的十字梁与平膜结合结构,可以有效地降低偏轴影响及横向灵敏度.使用ANSYS软件对芯片结构进行静态分析与模态分析,结果表明其在满量程情况下能安全工作.利用加速度冲击台进行测试,结果表明该加速度传感器可以准确地测量加速度信号,其灵敏度达到1.08 V/g,线性度达到1.163％.该传感器具有体积小,线性度好,精度高的优点.
為滿足高遲擊時加速度測量的要求,研製瞭一種基于樑膜結構的MEMS高g值加速度傳感器.內部敏感元件採用對稱的十字樑與平膜結閤結構,可以有效地降低偏軸影響及橫嚮靈敏度.使用ANSYS軟件對芯片結構進行靜態分析與模態分析,結果錶明其在滿量程情況下能安全工作.利用加速度遲擊檯進行測試,結果錶明該加速度傳感器可以準確地測量加速度信號,其靈敏度達到1.08 V/g,線性度達到1.163％.該傳感器具有體積小,線性度好,精度高的優點.
위만족고충격시가속도측량적요구,연제료일충기우량막결구적MEMS고g치가속도전감기.내부민감원건채용대칭적십자량여평막결합결구,가이유효지강저편축영향급횡향령민도.사용ANSYS연건대심편결구진행정태분석여모태분석,결과표명기재만량정정황하능안전공작.이용가속도충격태진행측시,결과표명해가속도전감기가이준학지측량가속도신호,기령민도체도1.08 V/g,선성도체도1.163％.해전감기구유체적소,선성도호,정도고적우점.
