发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2014年
3期
377-381
,共5页
邓双%杨培志%自兴发%段良飞%张力元
鄧雙%楊培誌%自興髮%段良飛%張力元
산쌍%양배지%자흥발%단량비%장력원
选择性吸收%镍铬金属-电介质复合膜%磁控溅射%物相结构%光学性能
選擇性吸收%鎳鉻金屬-電介質複閤膜%磁控濺射%物相結構%光學性能
선택성흡수%얼락금속-전개질복합막%자공천사%물상결구%광학성능
selective absorption%Ni-Cr metal-dielectric composite films%pulsed magnetron sputtering%phase structure%optical characterization
采用双极脉冲磁控溅射系统,在不同氧气含量的氩氧混合气体中制备了单层镍-铬金属-电介质复合光谱选择性吸收薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、激光共焦显微拉曼光谱仪、椭偏仪和紫外-可见-近红外分光光度计分别对薄膜的物相结构和光学特性进行了表征.结果表明:实验获得了由金属镍和镍、铬的氧化物(NiO、Cr2O3)组成的复合膜,薄膜对300 ～1 200 nm波段的太阳光有较强的吸收,而对波长大于1 200 nm的太阳光则吸收较弱,具有良好的光谱选择性,可用作高效太阳光谱选择性吸收涂层.
採用雙極脈遲磁控濺射繫統,在不同氧氣含量的氬氧混閤氣體中製備瞭單層鎳-鉻金屬-電介質複閤光譜選擇性吸收薄膜.採用X射線衍射儀(XRD)、激光共焦顯微拉曼光譜儀、橢偏儀和紫外-可見-近紅外分光光度計分彆對薄膜的物相結構和光學特性進行瞭錶徵.結果錶明:實驗穫得瞭由金屬鎳和鎳、鉻的氧化物(NiO、Cr2O3)組成的複閤膜,薄膜對300 ～1 200 nm波段的太暘光有較彊的吸收,而對波長大于1 200 nm的太暘光則吸收較弱,具有良好的光譜選擇性,可用作高效太暘光譜選擇性吸收塗層.
채용쌍겁맥충자공천사계통,재불동양기함량적아양혼합기체중제비료단층얼-락금속-전개질복합광보선택성흡수박막.채용X사선연사의(XRD)、격광공초현미랍만광보의、타편의화자외-가견-근홍외분광광도계분별대박막적물상결구화광학특성진행료표정.결과표명:실험획득료유금속얼화얼、락적양화물(NiO、Cr2O3)조성적복합막,박막대300 ～1 200 nm파단적태양광유교강적흡수,이대파장대우1 200 nm적태양광칙흡수교약,구유량호적광보선택성,가용작고효태양광보선택성흡수도층.
