黑龙江科技信息
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흑룡강과기신식
HEILONGJIANG SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION
2013年
30期
78-78
,共1页
弹性导轨%光栅尺%步进电机%压电陶瓷
彈性導軌%光柵呎%步進電機%壓電陶瓷
탄성도궤%광책척%보진전궤%압전도자
介绍了一种并行共焦系统高精密微位移平台的设计，阐述了如何通过精密进给控制对系统平台进行高精密移动，通过这种位移方法可以提高这种平台的位移精度，同时介绍了其核心部件弹性导轨的设计，测量结果表明位移平台的设计达到设计要求。
介紹瞭一種併行共焦繫統高精密微位移平檯的設計，闡述瞭如何通過精密進給控製對繫統平檯進行高精密移動，通過這種位移方法可以提高這種平檯的位移精度，同時介紹瞭其覈心部件彈性導軌的設計，測量結果錶明位移平檯的設計達到設計要求。
개소료일충병행공초계통고정밀미위이평태적설계，천술료여하통과정밀진급공제대계통평태진행고정밀이동，통과저충위이방법가이제고저충평태적위이정도，동시개소료기핵심부건탄성도궤적설계，측량결과표명위이평태적설계체도설계요구。
