西华师范大学学报（自然科学版）
西華師範大學學報（自然科學版）
서화사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHINA WEST NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2014年
1期
63-67
,共5页
ZnO薄膜%超声雾化热解法(USP)%微观结构%光学性质
ZnO薄膜%超聲霧化熱解法(USP)%微觀結構%光學性質
ZnO박막%초성무화열해법(USP)%미관결구%광학성질
ZnO thin film%ultrasonic spray pyrolysis (USP)%microstructure%optical property
以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,使用CQUT USP-Ⅱ型双源超声热解喷涂薄膜制备系统在玻璃衬底上制备得到了温度在350℃到450℃范围内的ZnO薄膜.通过X射线衍射(XRD)和紫外-可见分光光度计测试了薄膜的晶体结构和光学性能,着重考察了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.结果表明:温度对薄膜质量的影响较大;制备的ZnO薄膜为六角铅锌矿结构,400℃时薄膜结晶性能好,沿c轴择优取向生长;所制备的薄膜在可见光区透过率高达86％以上,在紫外光区吸收强烈;最后,用Tauc关系计算了薄膜温度在350℃到450℃范围内的带隙能量.
以醋痠鋅水溶液為前驅體溶液,使用CQUT USP-Ⅱ型雙源超聲熱解噴塗薄膜製備繫統在玻璃襯底上製備得到瞭溫度在350℃到450℃範圍內的ZnO薄膜.通過X射線衍射(XRD)和紫外-可見分光光度計測試瞭薄膜的晶體結構和光學性能,著重攷察瞭襯底溫度對ZnO薄膜生長過程及微觀結構的影響.結果錶明:溫度對薄膜質量的影響較大;製備的ZnO薄膜為六角鉛鋅礦結構,400℃時薄膜結晶性能好,沿c軸擇優取嚮生長;所製備的薄膜在可見光區透過率高達86％以上,在紫外光區吸收彊烈;最後,用Tauc關繫計算瞭薄膜溫度在350℃到450℃範圍內的帶隙能量.
이작산자수용액위전구체용액,사용CQUT USP-Ⅱ형쌍원초성열해분도박막제비계통재파리츤저상제비득도료온도재350℃도450℃범위내적ZnO박막.통과X사선연사(XRD)화자외-가견분광광도계측시료박막적정체결구화광학성능,착중고찰료츤저온도대ZnO박막생장과정급미관결구적영향.결과표명:온도대박막질량적영향교대;제비적ZnO박막위륙각연자광결구,400℃시박막결정성능호,연c축택우취향생장;소제비적박막재가견광구투과솔고체86％이상,재자외광구흡수강렬;최후,용Tauc관계계산료박막온도재350℃도450℃범위내적대극능량.
