强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2013年
12期
3338-3342
,共5页
卫耀伟%张哲%刘浩%欧阳升%郑轶%唐耿宇%陈松林%马平
衛耀偉%張哲%劉浩%歐暘升%鄭軼%唐耿宇%陳鬆林%馬平
위요위%장철%류호%구양승%정질%당경우%진송림%마평
薄膜%激光预处理%多层高反膜%激光损伤阈值%节瘤
薄膜%激光預處理%多層高反膜%激光損傷閾值%節瘤
박막%격광예처리%다층고반막%격광손상역치%절류
thin film%laser conditioning%anti-reflection coating%laser damage threshold%nodule
激光预处理是提高激光薄膜抗激光损伤阈值的重要手段.对电子束蒸发方式镀制的HfO2/SiO2反射膜采用大口径激光进行了辐照,并采用激光量热计测量了激光辐射前后的弱吸收值.采用聚焦离子束(FIB)技术分析了激光辐照后薄膜的损伤形态并探究了损伤原因,首次采用扫描电镜拍摄到了节瘤部分喷发时的形貌图,并对其进行了FIB分析,为进一步了解节瘤的损伤过程提供了依据.实验发现,激光辐照过后的激光薄膜弱吸收明显降低,激光预处理有效减少了引起薄膜吸收的缺陷,存在明显的清洗效应;在本实验采用的HfO2/SiO2反射膜中,激光预处理技术对于祛除位于基底上种子形成的节瘤是有效的,原因是激光辐射过后该节瘤进行了预喷发并不会对后续激光产生影响;而激光预处理技术对位于膜层中间的可能是镀膜过程中材料飞溅引起的缺陷是无效的,需要通过其他手段对该类节瘤进行祛除.
激光預處理是提高激光薄膜抗激光損傷閾值的重要手段.對電子束蒸髮方式鍍製的HfO2/SiO2反射膜採用大口徑激光進行瞭輻照,併採用激光量熱計測量瞭激光輻射前後的弱吸收值.採用聚焦離子束(FIB)技術分析瞭激光輻照後薄膜的損傷形態併探究瞭損傷原因,首次採用掃描電鏡拍攝到瞭節瘤部分噴髮時的形貌圖,併對其進行瞭FIB分析,為進一步瞭解節瘤的損傷過程提供瞭依據.實驗髮現,激光輻照過後的激光薄膜弱吸收明顯降低,激光預處理有效減少瞭引起薄膜吸收的缺陷,存在明顯的清洗效應;在本實驗採用的HfO2/SiO2反射膜中,激光預處理技術對于祛除位于基底上種子形成的節瘤是有效的,原因是激光輻射過後該節瘤進行瞭預噴髮併不會對後續激光產生影響;而激光預處理技術對位于膜層中間的可能是鍍膜過程中材料飛濺引起的缺陷是無效的,需要通過其他手段對該類節瘤進行祛除.
격광예처리시제고격광박막항격광손상역치적중요수단.대전자속증발방식도제적HfO2/SiO2반사막채용대구경격광진행료복조,병채용격광량열계측량료격광복사전후적약흡수치.채용취초리자속(FIB)기술분석료격광복조후박막적손상형태병탐구료손상원인,수차채용소묘전경박섭도료절류부분분발시적형모도,병대기진행료FIB분석,위진일보료해절류적손상과정제공료의거.실험발현,격광복조과후적격광박막약흡수명현강저,격광예처리유효감소료인기박막흡수적결함,존재명현적청세효응;재본실험채용적HfO2/SiO2반사막중,격광예처리기술대우거제위우기저상충자형성적절류시유효적,원인시격광복사과후해절류진행료예분발병불회대후속격광산생영향;이격광예처리기술대위우막층중간적가능시도막과정중재료비천인기적결함시무효적,수요통과기타수단대해류절류진행거제.
