强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2013年
12期
3333-3337
,共5页
邓燕%王翔峰%嵇保建%石琦凯
鄧燕%王翔峰%嵇保建%石琦凱
산연%왕상봉%혜보건%석기개
大口径光学元件%中频波前%波前均方根%带通滤波%子孔径%离散采样
大口徑光學元件%中頻波前%波前均方根%帶通濾波%子孔徑%離散採樣
대구경광학원건%중빈파전%파전균방근%대통려파%자공경%리산채양
large-aperture optics%mid-frequency wavefront%root mean square of wavefront%band-pass filtering%sub-aperture division%discrete sampling
大口径光学元件中频波前的准确评价已成为高功率激光系统中关注的焦点,元件中频波前均方根值是重要评价指标之一.根据波前中频检测频段及波前检测设备频响特性,将波前的中频区域分为两个检测频段,分别采用干涉仪和光学轮廓仪实现了中频波前均方根值的检测.采用大口径干涉仪可实现全口径波前中频区域低频段波前的检测,通过比对大口径干涉仪和采用小口径干涉仪结合分块融合平均方法的检测结果,提出采用分块融合平均方法也可检测相应频段全口径波前均方根.采用光学轮廓仪通过离散采样的方法检测大口径元件中频区域高频段波前均方根,针对不同离散采样方式的实验结果表明:3×3的采样方式能满足对410 mm×410 mm口径元件中频区域高频段波前均方根的检测.
大口徑光學元件中頻波前的準確評價已成為高功率激光繫統中關註的焦點,元件中頻波前均方根值是重要評價指標之一.根據波前中頻檢測頻段及波前檢測設備頻響特性,將波前的中頻區域分為兩箇檢測頻段,分彆採用榦涉儀和光學輪廓儀實現瞭中頻波前均方根值的檢測.採用大口徑榦涉儀可實現全口徑波前中頻區域低頻段波前的檢測,通過比對大口徑榦涉儀和採用小口徑榦涉儀結閤分塊融閤平均方法的檢測結果,提齣採用分塊融閤平均方法也可檢測相應頻段全口徑波前均方根.採用光學輪廓儀通過離散採樣的方法檢測大口徑元件中頻區域高頻段波前均方根,針對不同離散採樣方式的實驗結果錶明:3×3的採樣方式能滿足對410 mm×410 mm口徑元件中頻區域高頻段波前均方根的檢測.
대구경광학원건중빈파전적준학평개이성위고공솔격광계통중관주적초점,원건중빈파전균방근치시중요평개지표지일.근거파전중빈검측빈단급파전검측설비빈향특성,장파전적중빈구역분위량개검측빈단,분별채용간섭의화광학륜곽의실현료중빈파전균방근치적검측.채용대구경간섭의가실현전구경파전중빈구역저빈단파전적검측,통과비대대구경간섭의화채용소구경간섭의결합분괴융합평균방법적검측결과,제출채용분괴융합평균방법야가검측상응빈단전구경파전균방근.채용광학륜곽의통과리산채양적방법검측대구경원건중빈구역고빈단파전균방근,침대불동리산채양방식적실험결과표명:3×3적채양방식능만족대410 mm×410 mm구경원건중빈구역고빈단파전균방근적검측.
