强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2013年
12期
3325-3328
,共4页
廖德锋%陈贤华%袁志刚%谢瑞清%钟波
廖德鋒%陳賢華%袁誌剛%謝瑞清%鐘波
료덕봉%진현화%원지강%사서청%종파
PSD2误差%小工具数控抛光%全口径抛光%沥青盘%聚氨酯垫%金刚石修整
PSD2誤差%小工具數控拋光%全口徑拋光%瀝青盤%聚氨酯墊%金剛石脩整
PSD2오차%소공구수공포광%전구경포광%력청반%취안지점%금강석수정
PSD2 error%computer controlled small-tool polishing%full aperture polishing%pitch lap%polyurethane pad%diamond dressing
光学元件的中高频误差一般采用功率谱密度(PSD)表示,其划分为PSD1和PSD2两个频段.针对目前国内外研究较少的PSD2频段误差,分析和实验研究了其潜在的影响因素.采用沥青和聚氨酯盘抛光熔石英元件的实验结果显示:小工具数控相比传统全口径抛光并未增大PSD2误差,而抛光盘材质对PSD2误差具有决定性的影响.沥青盘在抑制PSD2误差方向具有较好的优越性,工件表面的PSD2指标能够满足要求,而聚氨酯抛光元件表面的PSD2误差则较高.针对这一问题,提出采用固结金刚石丸片修整聚氨酯垫,通过细化金刚石颗粒获得了合格的PSD2指标.
光學元件的中高頻誤差一般採用功率譜密度(PSD)錶示,其劃分為PSD1和PSD2兩箇頻段.針對目前國內外研究較少的PSD2頻段誤差,分析和實驗研究瞭其潛在的影響因素.採用瀝青和聚氨酯盤拋光鎔石英元件的實驗結果顯示:小工具數控相比傳統全口徑拋光併未增大PSD2誤差,而拋光盤材質對PSD2誤差具有決定性的影響.瀝青盤在抑製PSD2誤差方嚮具有較好的優越性,工件錶麵的PSD2指標能夠滿足要求,而聚氨酯拋光元件錶麵的PSD2誤差則較高.針對這一問題,提齣採用固結金剛石汍片脩整聚氨酯墊,通過細化金剛石顆粒穫得瞭閤格的PSD2指標.
광학원건적중고빈오차일반채용공솔보밀도(PSD)표시,기화분위PSD1화PSD2량개빈단.침대목전국내외연구교소적PSD2빈단오차,분석화실험연구료기잠재적영향인소.채용력청화취안지반포광용석영원건적실험결과현시:소공구수공상비전통전구경포광병미증대PSD2오차,이포광반재질대PSD2오차구유결정성적영향.력청반재억제PSD2오차방향구유교호적우월성,공건표면적PSD2지표능구만족요구,이취안지포광원건표면적PSD2오차칙교고.침대저일문제,제출채용고결금강석환편수정취안지점,통과세화금강석과립획득료합격적PSD2지표.
