强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2013年
12期
3315-3317
,共3页
何曼泽%王琳%周佩璠%马平%鄢定尧
何曼澤%王琳%週珮璠%馬平%鄢定堯
하만택%왕림%주패번%마평%언정요
双面抛光%大口径超薄元件%工艺优化%转速比%加工模拟
雙麵拋光%大口徑超薄元件%工藝優化%轉速比%加工模擬
쌍면포광%대구경초박원건%공예우화%전속비%가공모의
double-side polishing%large-aperture ultra-thin component%process optimization%speed ratio%machining simulation
基于环摆双面抛光技术,研究了3 mm厚大口径超薄元件的双面抛光加工工艺.通过对双面抛光原理的分析,对转速比、抛光垫面形、抛光液等工艺参数上作了优化,并通过加工模拟进行验证.通过工件环分离器减薄技术解决了3 mm厚超薄元件的装夹问题.在SYP152双面主动抛光机上进行了加工工艺实验,通过调节转速比实现3 mm厚大口径超薄元件面形的高效收敛,验证了加工的可行性,并且达到了面形精度优于1.5λ(λ=632.8 nm)、表面粗糙度优于1 nm的技术水平.
基于環襬雙麵拋光技術,研究瞭3 mm厚大口徑超薄元件的雙麵拋光加工工藝.通過對雙麵拋光原理的分析,對轉速比、拋光墊麵形、拋光液等工藝參數上作瞭優化,併通過加工模擬進行驗證.通過工件環分離器減薄技術解決瞭3 mm厚超薄元件的裝夾問題.在SYP152雙麵主動拋光機上進行瞭加工工藝實驗,通過調節轉速比實現3 mm厚大口徑超薄元件麵形的高效收斂,驗證瞭加工的可行性,併且達到瞭麵形精度優于1.5λ(λ=632.8 nm)、錶麵粗糙度優于1 nm的技術水平.
기우배파쌍면포광기술,연구료3 mm후대구경초박원건적쌍면포광가공공예.통과대쌍면포광원리적분석,대전속비、포광점면형、포광액등공예삼수상작료우화,병통과가공모의진행험증.통과공건배분리기감박기술해결료3 mm후초박원건적장협문제.재SYP152쌍면주동포광궤상진행료가공공예실험,통과조절전속비실현3 mm후대구경초박원건면형적고효수렴,험증료가공적가행성,병차체도료면형정도우우1.5λ(λ=632.8 nm)、표면조조도우우1 nm적기술수평.
