强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2013年
12期
3311-3314
,共4页
朱衡%刘夏来%黄金勇%鄢定尧%马平
硃衡%劉夏來%黃金勇%鄢定堯%馬平
주형%류하래%황금용%언정요%마평
大口径光学元件%碳化硅%表面质量%快速收敛%参数优化%抛光
大口徑光學元件%碳化硅%錶麵質量%快速收斂%參數優化%拋光
대구경광학원건%탄화규%표면질량%쾌속수렴%삼수우화%포광
large aperture mirror%SiC material%surface quality%rapid convergence%parameter optimization%polishing
研究了针对600 mm口径方形轻质碳化硅元件的数控抛光工艺过程,采用国产OP1000数控研磨抛光机床对一块600 mm×480mm的方形碳化硅元件进行数控抛光加工.在经过两周的加工时间,碳化硅光学元件的通光口径均方根(RMS)值收敛到了35 nm(大约为λ/18,λ=632.8 nm).在加工过程中针对大口径椭圆形碳化硅反射镜采用了合适的加工参数优化,例如在加工过程中的不同阶段选择了不同颗粒度的金刚石微粉作为特定阶段的抛光辅料以保证光学元件的表面粗糙度.对计算机控制数控加工技术的快速收敛过程也进行了阐释.
研究瞭針對600 mm口徑方形輕質碳化硅元件的數控拋光工藝過程,採用國產OP1000數控研磨拋光機床對一塊600 mm×480mm的方形碳化硅元件進行數控拋光加工.在經過兩週的加工時間,碳化硅光學元件的通光口徑均方根(RMS)值收斂到瞭35 nm(大約為λ/18,λ=632.8 nm).在加工過程中針對大口徑橢圓形碳化硅反射鏡採用瞭閤適的加工參數優化,例如在加工過程中的不同階段選擇瞭不同顆粒度的金剛石微粉作為特定階段的拋光輔料以保證光學元件的錶麵粗糙度.對計算機控製數控加工技術的快速收斂過程也進行瞭闡釋.
연구료침대600 mm구경방형경질탄화규원건적수공포광공예과정,채용국산OP1000수공연마포광궤상대일괴600 mm×480mm적방형탄화규원건진행수공포광가공.재경과량주적가공시간,탄화규광학원건적통광구경균방근(RMS)치수렴도료35 nm(대약위λ/18,λ=632.8 nm).재가공과정중침대대구경타원형탄화규반사경채용료합괄적가공삼수우화,례여재가공과정중적불동계단선택료불동과립도적금강석미분작위특정계단적포광보료이보증광학원건적표면조조도.대계산궤공제수공가공기술적쾌속수렴과정야진행료천석.
