大口径标准镜绝对面形精度传递方法
대구경표준경절대면형정도전체방법
Accuracy transfer method of large aperture standard mirrors' absolute surface error
  • 万方数据
    强激光与粒子束 강격광여입자속
    HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
    2013年 12期 3210-3214 ,共5页

    徐凯源%李强%刘昂%高波%何宇航

    서개원%리강%류앙%고파%하우항

    波前检测%面形精度传递方法%高精度面形检测%干涉检测%光学仪器 波前檢測%麵形精度傳遞方法%高精度麵形檢測%榦涉檢測%光學儀器
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    wavefront testing%surface-accuracy transfer method%high-precision surface testing%interferometry%optical instruments
    提出了一种大口径干涉仪标准镜绝对面形精度的传递方法,在已知一台干涉仪参考镜绝对面形的前提下,可向待测标准镜进行精度传递.由于检测温度与使用温度的不同,待测标准镜在另一台干涉仪作参考镜时,绝对面形会发生变化,变化集中在离焦量上;在待测标准镜使用状态下,通过对经典三板互检法得到的竖直方向直线绝对面形的分析,得到标准镜使用状态离焦量的估计,以此修正直接精度传递结果,最终得到待测标准镜使用状态下的绝对面形.比较同一块光学元件在两台干涉仪上标定前和标定后的测量结果,标定后的面形差值更小且分布一致性更好,证明了本方法的有效性和可行性.
    제출료일충대구경간섭의표준경절대면형정도적전체방법,재이지일태간섭의삼고경절대면형적전제하,가향대측표준경진행정도전체.유우검측온도여사용온도적불동,대측표준경재령일태간섭의작삼고경시,절대면형회발생변화,변화집중재리초량상;재대측표준경사용상태하,통과대경전삼판호검법득도적수직방향직선절대면형적분석,득도표준경사용상태리초량적고계,이차수정직접정도전체결과,최종득도대측표준경사용상태하적절대면형.비교동일괴광학원건재량태간섭의상표정전화표정후적측량결과,표정후적면형차치경소차분포일치성경호,증명료본방법적유효성화가행성.
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