强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2013年
12期
3098-3105
,共8页
许乔%王健%马平%陈贤华%雷向阳
許喬%王健%馬平%陳賢華%雷嚮暘
허교%왕건%마평%진현화%뢰향양
先进光学制造%高功率激光%确定性抛光%表面缺陷
先進光學製造%高功率激光%確定性拋光%錶麵缺陷
선진광학제조%고공솔격광%학정성포광%표면결함
advanced optical manufacturing%high power laser%deterministic finishing%surface defect
针对高功率固体激光发展的需求,总结了先进光学制造技术方面的研究进展.采用超精密制造技术提高了非球面等元件的加工精度和制造效率,并为解决低缺陷加工提供了技术途径.围绕面形误差控制,特别是中频波前误差控制,发展了多种确定性抛光技术.针对熔石英元件建立了“去除-抑制”模型及新的抛光技术,有效抑制了亚表面缺陷的产生.
針對高功率固體激光髮展的需求,總結瞭先進光學製造技術方麵的研究進展.採用超精密製造技術提高瞭非毬麵等元件的加工精度和製造效率,併為解決低缺陷加工提供瞭技術途徑.圍繞麵形誤差控製,特彆是中頻波前誤差控製,髮展瞭多種確定性拋光技術.針對鎔石英元件建立瞭“去除-抑製”模型及新的拋光技術,有效抑製瞭亞錶麵缺陷的產生.
침대고공솔고체격광발전적수구,총결료선진광학제조기술방면적연구진전.채용초정밀제조기술제고료비구면등원건적가공정도화제조효솔,병위해결저결함가공제공료기술도경.위요면형오차공제,특별시중빈파전오차공제,발전료다충학정성포광기술.침대용석영원건건립료“거제-억제”모형급신적포광기술,유효억제료아표면결함적산생.
