哈尔滨商业大学学报（自然科学版）
哈爾濱商業大學學報（自然科學版）
합이빈상업대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF COMMERCE(NATURAL SCIENCES EDITION)
2013年
6期
674-677
,共4页
何平%曹胜梅%李岐%华楠
何平%曹勝梅%李岐%華楠
하평%조성매%리기%화남
红外技术%薄膜厚度%实时检测%TMS320F2812
紅外技術%薄膜厚度%實時檢測%TMS320F2812
홍외기술%박막후도%실시검측%TMS320F2812
infrared technology%film thickness%real-time detection%TMS320F2812
介绍了红外透射式检测原理,以TMS320F2812为主控芯片设计了薄膜厚度信号的采集计算系统,主要包括信号采集、信号调理、A/D转换,数据处理、串口通信等,设计了人机交互系统来实现数据的实时显示.实验结果表明,基于红外技术的薄膜测厚系统能够实现对薄膜厚度的实时检测,具有精度高,抗干扰性强,人机界面友好等特点,功能和指标都达到了设计要求.
介紹瞭紅外透射式檢測原理,以TMS320F2812為主控芯片設計瞭薄膜厚度信號的採集計算繫統,主要包括信號採集、信號調理、A/D轉換,數據處理、串口通信等,設計瞭人機交互繫統來實現數據的實時顯示.實驗結果錶明,基于紅外技術的薄膜測厚繫統能夠實現對薄膜厚度的實時檢測,具有精度高,抗榦擾性彊,人機界麵友好等特點,功能和指標都達到瞭設計要求.
개소료홍외투사식검측원리,이TMS320F2812위주공심편설계료박막후도신호적채집계산계통,주요포괄신호채집、신호조리、A/D전환,수거처리、천구통신등,설계료인궤교호계통래실현수거적실시현시.실험결과표명,기우홍외기술적박막측후계통능구실현대박막후도적실시검측,구유정도고,항간우성강,인궤계면우호등특점,공능화지표도체도료설계요구.
