电机与控制学报
電機與控製學報
전궤여공제학보
ECTRIC MACHINES AND CONTROL
2013年
11期
28-32
,共5页
王明义%刘家曦%李立毅%曹继伟%张成明%潘东华
王明義%劉傢晞%李立毅%曹繼偉%張成明%潘東華
왕명의%류가희%리립의%조계위%장성명%반동화
永磁同步直线电机%电流环%空间矢量脉宽调制%预测控制%优化设计
永磁同步直線電機%電流環%空間矢量脈寬調製%預測控製%優化設計
영자동보직선전궤%전류배%공간시량맥관조제%예측공제%우화설계
permanent magnet linear synchronous motor%current loop%space vector pulse width modulation%predictive current control%optimization design
针对光刻机工件台中的永磁同步直线电机伺服系统需要高跟踪精度和高频响等问题,电机驱动控制系统的电流内环应具有快速响应能力.为了研究高动态性能的电流环控制策略,提出一种基于空间矢量脉宽调制技术,并通过引入修正因子来优化电流预测控制的算法,在保证对电流指令稳定跟踪的同时,提高了电流环的动态性能,有效地解决了传统的电流预测控制策略中稳态特性和动态特性之间的平衡问题,适合应用在要求电流环具有高动态特性的场合.构建了系统仿真模型和基于FPGA的实验平台,仿真和实验结果表明该优化算法的正确性和实用性.
針對光刻機工件檯中的永磁同步直線電機伺服繫統需要高跟蹤精度和高頻響等問題,電機驅動控製繫統的電流內環應具有快速響應能力.為瞭研究高動態性能的電流環控製策略,提齣一種基于空間矢量脈寬調製技術,併通過引入脩正因子來優化電流預測控製的算法,在保證對電流指令穩定跟蹤的同時,提高瞭電流環的動態性能,有效地解決瞭傳統的電流預測控製策略中穩態特性和動態特性之間的平衡問題,適閤應用在要求電流環具有高動態特性的場閤.構建瞭繫統倣真模型和基于FPGA的實驗平檯,倣真和實驗結果錶明該優化算法的正確性和實用性.
침대광각궤공건태중적영자동보직선전궤사복계통수요고근종정도화고빈향등문제,전궤구동공제계통적전류내배응구유쾌속향응능력.위료연구고동태성능적전류배공제책략,제출일충기우공간시량맥관조제기술,병통과인입수정인자래우화전류예측공제적산법,재보증대전류지령은정근종적동시,제고료전류배적동태성능,유효지해결료전통적전류예측공제책략중은태특성화동태특성지간적평형문제,괄합응용재요구전류배구유고동태특성적장합.구건료계통방진모형화기우FPGA적실험평태,방진화실험결과표명해우화산법적정학성화실용성.
