河南科学
河南科學
하남과학
HENAN SCIENCE
2013年
10期
1613-1614
,共2页
刘珂珂%庞海岩%刘清%褚艳红%黄海平
劉珂珂%龐海巖%劉清%褚豔紅%黃海平
류가가%방해암%류청%저염홍%황해평
ICP-MS%KED%高纯气体%硼%磷%铝
ICP-MS%KED%高純氣體%硼%燐%鋁
ICP-MS%KED%고순기체%붕%린%려
ICP-MS%KED%High-purity gas%P%B%Al
研究了用电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)测定高纯气体五氟乙烷中铝、磷、硼等杂质的分析方法.在最佳仪器条件下,通过选择合适的吸收液与测定同位素、采用Sc作为内标以及碰撞池技术,避免了基体效应以及多原子离子对测定的干扰.方法简单、灵敏度高,对高纯气体的质量监控有指导意义.
研究瞭用電感耦閤等離子體質譜(ICP-MS)測定高純氣體五氟乙烷中鋁、燐、硼等雜質的分析方法.在最佳儀器條件下,通過選擇閤適的吸收液與測定同位素、採用Sc作為內標以及踫撞池技術,避免瞭基體效應以及多原子離子對測定的榦擾.方法簡單、靈敏度高,對高純氣體的質量鑑控有指導意義.
연구료용전감우합등리자체질보(ICP-MS)측정고순기체오불을완중려、린、붕등잡질적분석방법.재최가의기조건하,통과선택합괄적흡수액여측정동위소、채용Sc작위내표이급팽당지기술,피면료기체효응이급다원자리자대측정적간우.방법간단、령민도고,대고순기체적질량감공유지도의의.
