技术与市场
技術與市場
기술여시장
TECHNOLOGY AND MARKET
2013年
11期
12,14
,共2页
干涉仪%非球面%精度
榦涉儀%非毬麵%精度
간섭의%비구면%정도
为解决大尺寸光学元件的面形检测的困难,比较不同形式的干涉仪,最终发现反射式平行光管式的卧式斐索干涉仪的精度较高;设计一款改进的卧式斐索干涉仪,测量精度较高,约为λ/10.该仪器价格低廉、实用性强,可应用于科研、生产等领域的大口径光学元件的面形精确检测.
為解決大呎吋光學元件的麵形檢測的睏難,比較不同形式的榦涉儀,最終髮現反射式平行光管式的臥式斐索榦涉儀的精度較高;設計一款改進的臥式斐索榦涉儀,測量精度較高,約為λ/10.該儀器價格低廉、實用性彊,可應用于科研、生產等領域的大口徑光學元件的麵形精確檢測.
위해결대척촌광학원건적면형검측적곤난,비교불동형식적간섭의,최종발현반사식평행광관식적와식비색간섭의적정도교고;설계일관개진적와식비색간섭의,측량정도교고,약위λ/10.해의기개격저렴、실용성강,가응용우과연、생산등영역적대구경광학원건적면형정학검측.
