传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
11期
44-47,51
,共5页
徐弈辰%杨道业%张智%程明霄%施源
徐弈辰%楊道業%張智%程明霄%施源
서혁신%양도업%장지%정명소%시원
双阵列式电容传感器%有限元方法%区域幅值最大化参数%电极数选取
雙陣列式電容傳感器%有限元方法%區域幅值最大化參數%電極數選取
쌍진렬식전용전감기%유한원방법%구역폭치최대화삼수%전겁수선취
double array type capacitive sensors%finite element method%maximum parcameter of region amplitude%selection of electrode number
利用传感器相邻极板之间灵敏场不均匀的特点,建立了一种新型双阵列式电容传感器,并引入新的目标函数来评价灵敏场在某个区域幅值的大小.通过有限元仿真,分析双阵列式电容传感器电极数为6,8,12,16时对目标函数的影响,选取双阵列式电容传感器的电极数,使传感器综合性能最优.
利用傳感器相鄰極闆之間靈敏場不均勻的特點,建立瞭一種新型雙陣列式電容傳感器,併引入新的目標函數來評價靈敏場在某箇區域幅值的大小.通過有限元倣真,分析雙陣列式電容傳感器電極數為6,8,12,16時對目標函數的影響,選取雙陣列式電容傳感器的電極數,使傳感器綜閤性能最優.
이용전감기상린겁판지간령민장불균균적특점,건립료일충신형쌍진렬식전용전감기,병인입신적목표함수래평개령민장재모개구역폭치적대소.통과유한원방진,분석쌍진렬식전용전감기전겁수위6,8,12,16시대목표함수적영향,선취쌍진렬식전용전감기적전겁수,사전감기종합성능최우.
