传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
11期
18-20,24
,共4页
王珂珂%张示城%史可意%孙少骋%谢海芬
王珂珂%張示城%史可意%孫少騁%謝海芬
왕가가%장시성%사가의%손소빙%사해분
多壁碳纳米管%氨基%甲醛%气敏特性
多壁碳納米管%氨基%甲醛%氣敏特性
다벽탄납미관%안기%갑철%기민특성
multi-wall carbon nanotubes%amino%formaldehyde%gas sensing property
制作了接枝氨基的多壁碳纳米管薄膜传感器.研究了其对低体积分数甲醛气体的温度响应特性和膜厚与响应的关系.结果表明:当温度为22℃,薄膜的厚度为8.1 μm时,这种薄膜传感器对低体积分数为20×10-9的甲醛气体的响应可以达到2.9％,此体积分数低于国际卫生组织规定的标准.
製作瞭接枝氨基的多壁碳納米管薄膜傳感器.研究瞭其對低體積分數甲醛氣體的溫度響應特性和膜厚與響應的關繫.結果錶明:噹溫度為22℃,薄膜的厚度為8.1 μm時,這種薄膜傳感器對低體積分數為20×10-9的甲醛氣體的響應可以達到2.9％,此體積分數低于國際衛生組織規定的標準.
제작료접지안기적다벽탄납미관박막전감기.연구료기대저체적분수갑철기체적온도향응특성화막후여향응적관계.결과표명:당온도위22℃,박막적후도위8.1 μm시,저충박막전감기대저체적분수위20×10-9적갑철기체적향응가이체도2.9％,차체적분수저우국제위생조직규정적표준.
