传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
12期
61-63,66
,共4页
凌旭%王先全%冯济琴%蒲红吉
凌旭%王先全%馮濟琴%蒲紅吉
릉욱%왕선전%풍제금%포홍길
纳米测量%虚拟仪器%位移传感器%时栅
納米測量%虛擬儀器%位移傳感器%時柵
납미측량%허의의기%위이전감기%시책
nanometer measurement%virtual instrument%displacement sensors%time-grating
为了实现制造成本低、抗干扰性强、性能稳定的大量程、纳米精度位移测量,研究了一种基于交变电场耦合的纳米时栅位移传感器.利用虚拟仪器开发平台LabVIEW软件和PXI-5422任意波形发生器硬件设备相结合,实现标准波形的频率、幅值、相位的设置等功能.实验得出:通过调节激励信号的幅值可以避免安装位置的不同对纳米时栅精度的影响,调节相位可以提高其精度.虚拟仪器技术在纳米时栅实验中的应用为激励信号性能的改进与提高提供了技术支持,在纳米时栅特性的研究中提供方便.
為瞭實現製造成本低、抗榦擾性彊、性能穩定的大量程、納米精度位移測量,研究瞭一種基于交變電場耦閤的納米時柵位移傳感器.利用虛擬儀器開髮平檯LabVIEW軟件和PXI-5422任意波形髮生器硬件設備相結閤,實現標準波形的頻率、幅值、相位的設置等功能.實驗得齣:通過調節激勵信號的幅值可以避免安裝位置的不同對納米時柵精度的影響,調節相位可以提高其精度.虛擬儀器技術在納米時柵實驗中的應用為激勵信號性能的改進與提高提供瞭技術支持,在納米時柵特性的研究中提供方便.
위료실현제조성본저、항간우성강、성능은정적대량정、납미정도위이측량,연구료일충기우교변전장우합적납미시책위이전감기.이용허의의기개발평태LabVIEW연건화PXI-5422임의파형발생기경건설비상결합,실현표준파형적빈솔、폭치、상위적설치등공능.실험득출:통과조절격려신호적폭치가이피면안장위치적불동대납미시책정도적영향,조절상위가이제고기정도.허의의기기술재납미시책실험중적응용위격려신호성능적개진여제고제공료기술지지,재납미시책특성적연구중제공방편.
