红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2013年
6期
481-485,490
,共6页
方祥%顾溢%张永刚%周立%王凯%李好斯白音%刘克辉%曹远迎
方祥%顧溢%張永剛%週立%王凱%李好斯白音%劉剋輝%曹遠迎
방상%고일%장영강%주립%왕개%리호사백음%류극휘%조원영
InAlAs%缓冲层%X射线衍射%光致发光
InAlAs%緩遲層%X射線衍射%光緻髮光
InAlAs%완충층%X사선연사%광치발광
InAlAs%buffer%X-ray diffraction%photoluminescence
通过在InP基InxAl1-xAs递变缓冲层上生长In0.78Ga0.22 As/In0.78Al0.22As量子阱和In0.84 Ga0.16 As探测器结构,研究了缓冲层中组分过冲对材料特性的影响.原子力显微镜结果表明,在InAlAs缓冲层中采用组分过冲可以使量子阱及探测器样品表面粗糙度都得到降低.对于相对较薄的量子阱结构,X射线衍射倒易空间扫描图和光致发光谱的测量表明,使用组分过冲可以增加弛豫度、减小剩余应力并改善光学性质.而对于较厚的探测器结构,X射线衍射和光致发光谱测试发现使用组分过冲后的材料性质没有明显的变化.量子阱和探测器结构的这些不同特性需要在器件设计应用中加以考虑.
通過在InP基InxAl1-xAs遞變緩遲層上生長In0.78Ga0.22 As/In0.78Al0.22As量子阱和In0.84 Ga0.16 As探測器結構,研究瞭緩遲層中組分過遲對材料特性的影響.原子力顯微鏡結果錶明,在InAlAs緩遲層中採用組分過遲可以使量子阱及探測器樣品錶麵粗糙度都得到降低.對于相對較薄的量子阱結構,X射線衍射倒易空間掃描圖和光緻髮光譜的測量錶明,使用組分過遲可以增加弛豫度、減小剩餘應力併改善光學性質.而對于較厚的探測器結構,X射線衍射和光緻髮光譜測試髮現使用組分過遲後的材料性質沒有明顯的變化.量子阱和探測器結構的這些不同特性需要在器件設計應用中加以攷慮.
통과재InP기InxAl1-xAs체변완충층상생장In0.78Ga0.22 As/In0.78Al0.22As양자정화In0.84 Ga0.16 As탐측기결구,연구료완충층중조분과충대재료특성적영향.원자력현미경결과표명,재InAlAs완충층중채용조분과충가이사양자정급탐측기양품표면조조도도득도강저.대우상대교박적양자정결구,X사선연사도역공간소묘도화광치발광보적측량표명,사용조분과충가이증가이예도、감소잉여응력병개선광학성질.이대우교후적탐측기결구,X사선연사화광치발광보측시발현사용조분과충후적재료성질몰유명현적변화.양자정화탐측기결구적저사불동특성수요재기건설계응용중가이고필.
