光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2013年
6期
74-77
,共4页
垂直扫描干涉%零光程差%透明台阶
垂直掃描榦涉%零光程差%透明檯階
수직소묘간섭%령광정차%투명태계
vertical scanning interferometer%zero optical path difference%transparent step
Veeco NT3300表面轮廓仪是基于白光干涉原理的一种非接触测量设备,它的垂直扫描干涉模式可以实现对物体表面形貌的非接触测量.在利用垂直扫描干涉模式对光刻胶形成的透明台阶测量时,设置不同的测量参数会导致较大的测量误差,通过对垂直扫描干涉模式的原理和测量系统的分析,找到了误差产生的原因,并通过合理的测量参数的设置,实现了对透明台阶的准确测量,满足了应用需求.
Veeco NT3300錶麵輪廓儀是基于白光榦涉原理的一種非接觸測量設備,它的垂直掃描榦涉模式可以實現對物體錶麵形貌的非接觸測量.在利用垂直掃描榦涉模式對光刻膠形成的透明檯階測量時,設置不同的測量參數會導緻較大的測量誤差,通過對垂直掃描榦涉模式的原理和測量繫統的分析,找到瞭誤差產生的原因,併通過閤理的測量參數的設置,實現瞭對透明檯階的準確測量,滿足瞭應用需求.
Veeco NT3300표면륜곽의시기우백광간섭원리적일충비접촉측량설비,타적수직소묘간섭모식가이실현대물체표면형모적비접촉측량.재이용수직소묘간섭모식대광각효형성적투명태계측량시,설치불동적측량삼수회도치교대적측량오차,통과대수직소묘간섭모식적원리화측량계통적분석,조도료오차산생적원인,병통과합리적측량삼수적설치,실현료대투명태계적준학측량,만족료응용수구.
