光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2013年
6期
26-30
,共5页
柳常清%宋庆%孙占文%吴韩飞
柳常清%宋慶%孫佔文%吳韓飛
류상청%송경%손점문%오한비
位置敏感探测器(PSD)%导轨%俯仰角%偏摆角%直线度
位置敏感探測器(PSD)%導軌%俯仰角%偏襬角%直線度
위치민감탐측기(PSD)%도궤%부앙각%편파각%직선도
position sensitive detector(PSD)%guide%ditch error%yaw error%straightness error
介绍一种基于双二维PSD实现大长度宽范围直线导轨俯仰角、偏摆角以及空间二维直线度等四个自由度在线测量的新型方法,对其测量原理进行了分析和论证,并建立了求取长直导轨俯仰角、偏摆角的数学模型和基于激光空间偏角修正基础上的二维直线度的数学模型;讨论了影响测量过程的各种因素,提出了消除其影响所应采取的措施.该测量方法提高了长直导轨直线度的测量精度和效率.
介紹一種基于雙二維PSD實現大長度寬範圍直線導軌俯仰角、偏襬角以及空間二維直線度等四箇自由度在線測量的新型方法,對其測量原理進行瞭分析和論證,併建立瞭求取長直導軌俯仰角、偏襬角的數學模型和基于激光空間偏角脩正基礎上的二維直線度的數學模型;討論瞭影響測量過程的各種因素,提齣瞭消除其影響所應採取的措施.該測量方法提高瞭長直導軌直線度的測量精度和效率.
개소일충기우쌍이유PSD실현대장도관범위직선도궤부앙각、편파각이급공간이유직선도등사개자유도재선측량적신형방법,대기측량원리진행료분석화론증,병건립료구취장직도궤부앙각、편파각적수학모형화기우격광공간편각수정기출상적이유직선도적수학모형;토론료영향측량과정적각충인소,제출료소제기영향소응채취적조시.해측량방법제고료장직도궤직선도적측량정도화효솔.
