中国电子科学研究院学报
中國電子科學研究院學報
중국전자과학연구원학보
JOURNAL OF CHINA ACADEMY OF ELECTRONICS AND INFORMATION TECHNOLOGY
2013年
6期
656-660
,共5页
王庚林%李飞%李宁博%刘永敏
王庚林%李飛%李寧博%劉永敏
왕경림%리비%리저박%류영민
氦质谱细检漏%严密等级ΤHemin%最长候检时间%压氦法固定方案%预充氦法固定方案%去除吸附氦
氦質譜細檢漏%嚴密等級ΤHemin%最長候檢時間%壓氦法固定方案%預充氦法固定方案%去除吸附氦
양질보세검루%엄밀등급ΤHemin%최장후검시간%압양법고정방안%예충양법고정방안%거제흡부양
以“氦质谱细检漏的基本判据和最长候检时间”为基础,分析了密封电子元器件内部水汽不超过5 000 ppm的可靠贮存寿命,确定了细漏检测的严密等级THemin分级,界定和拓展了适用内腔容积并进行了分段,设计了压氦法和预充氦法的固定方案,验证了固定方案规定的最长候检时间可以满足去除吸附氦的要求.从而突破了国内外相关标准改进中难以或无法实施的技术瓶颈,为加严密封性判据改进相关标准,提供了可行的技术方案.
以“氦質譜細檢漏的基本判據和最長候檢時間”為基礎,分析瞭密封電子元器件內部水汽不超過5 000 ppm的可靠貯存壽命,確定瞭細漏檢測的嚴密等級THemin分級,界定和拓展瞭適用內腔容積併進行瞭分段,設計瞭壓氦法和預充氦法的固定方案,驗證瞭固定方案規定的最長候檢時間可以滿足去除吸附氦的要求.從而突破瞭國內外相關標準改進中難以或無法實施的技術瓶頸,為加嚴密封性判據改進相關標準,提供瞭可行的技術方案.
이“양질보세검루적기본판거화최장후검시간”위기출,분석료밀봉전자원기건내부수기불초과5 000 ppm적가고저존수명,학정료세루검측적엄밀등급THemin분급,계정화탁전료괄용내강용적병진행료분단,설계료압양법화예충양법적고정방안,험증료고정방안규정적최장후검시간가이만족거제흡부양적요구.종이돌파료국내외상관표준개진중난이혹무법실시적기술병경,위가엄밀봉성판거개진상관표준,제공료가행적기술방안.
